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台積電年底引入EUV試產！

2020-08-31

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憑藉著有意的代工技術和龐大的產能，台積電在這幾年成為了半導體行業的焦點，旗下客戶包括了蘋果、AMD、賽靈思(Xlinx)、聯發科、海思等客戶，占據了一半以上的晶圓代工業務。

為了和台積電爭奪蘋果A系列處理器的訂單，三星在這幾年厲兵秣馬，希望可以瓜分蘋果A系列處理器，三星甚至在一口氣購買了10台ASML生產的EUV光刻機，要知道ASML的年產能也不過12台，這對於其他準備轉入EUV的半導體廠商來說並不是什麼好消息。

不過蘋果今年的A12訂單全部交給了台積電，三星現在能做的就是做好7nm工藝再和台積電爭奪蘋果A13訂單，台積電也在積極防範三星搶奪客戶。

據台灣媒體報導，為了防止三星搶奪蘋果A13處理器訂單，台積電計劃將7nm改進版產線試產的時間提前1個季度。

按照台積電的計劃，第一代7nm工藝採用DUV(深紫外光刻)技術。

而蘋果方面要求台積電要在2019年使用EUV製造A13處理器，所以台積電需要提前將EUV部署到產線之中。

台積電聯席CEO劉德音之前透露，台積電將會在7nm工藝改進版上使用EUV光刻，5nm則會全面應用EUV光刻技術。

目前有消息稱台積電7納米改進版進入小型試產，目前導入EUV的晶圓輸出率已經大幅提升，下半年可望建立試產線，預計年底進行試產、明年正式量產。

極紫外光刻技術已經延後了很多年到來，而且目前的極紫外光刻還處於早期開發狀態，包括英特爾等半導體廠商均表示EUV只會應用在少數需要極紫外光刻的地方，其他部分依然會採用DUV進行刻蝕。

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2020-08-31