暫停EUV設備採購？三星電子應對存儲器市場趨緩改主意

2020-09-09

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芯科技消息（文/西卡）半導體產業景氣轉弱又出現新信號！韓國媒體報導，三星電子宣稱引進的EUV設備數量已經足夠應付現況，預計明年不會購買EUV（極紫外線）設備，未來若要持續引進，將會評估2020年晶圓代工和存儲器半導體部門的訂單再做決定。

根據韓媒《DDaily》報導，不斷強化EUV技術的三星電子，打算透過工藝微縮發展7納米至3納米的先進位程，但考量到代工業務部門所要求的EUV設備數量，至少到明年為止，沒有必要再引進新的EUV設備。

當初三星為了在去年才啟用的最高端技術華城廠區引進EUV設備，向市占最大的EUV設備商荷蘭半導體設備公司ASML購買約10台EUV。

ASML也曾表示，今年EUV設備供應量（包括預購在內）為18台，加上之前業界普遍推測，明年三星電子還將進一步購買EUV設備，根據今年10月ASML的說法，明年在手訂單高達30台。

值得注意的是，三星存儲器部門計劃引進EUV設備，但預計後年才會有量產計劃。

熟知三星電子內部情形的相關人士則透露，相對存儲器部分，代工部門中不需要這麼多EUV設備，最多有10台設備就已經足夠，並在這數量範圍中循序引進設備即可。

尤其是EUV工程的量產計劃設定在明年下半年，因此沒有馬上需要設備的必要性。

此外，近期三星內部對存儲器半導體市場評估也越趨保守，雖然目前已經進入旺季，但存儲器價格上漲速度已經開始疲乏，導致需求開始被推遲。

更何況，EUV設備要價不斐，一台約2000億韓元，在市場需求明顯趨緩的狀況下，恐怕將影響三星引進設備的速度。

EUV設備目前主要客戶包括三星電子、台積電、英特爾。

過去ASML曾透露，最先購買EUV設備的企業是英特爾。

但隨著英特爾延後使用EUV技術，目前EUV工藝對決成為三星電子和台積電兩足鼎立的格局。

三星電子引進EUV技術不僅打算用於代工業務，也計劃應用在存儲器上。

相關人士也表示，未來EUV設備的需求會持續增加，因為若是少了EUV技術，先進位程工藝微縮就會很難發展。

而且不僅是代工業務，以後存儲器半導體市場開始使用EUV設備的話，就會更需要EUV設備。

他也補充，在DRAM技術方面，三星電子正在進行1ynm工程．若進展到1znm階段，就能正式投入EUV技術，因此存儲器先進位程並不急著應用EUV技術，但2020年需要啟動EUV產線的話，那時才會再引進新的設備。

台積電在7納米工藝運用了浸潤式微影和氟化氬（ArF）的曝光技術，搶先三星確保了客戶。

近期為了履行高通、AMD以及NVIDIA的訂單，開始進行7納米加強版先進位程測試，同時也計劃采EUV技術；而三星電子為了超越台積電，犧牲短期客戶，搶先台積電引進先進位程微縮的核心「EUV」，預計明年開始進入量產的三星、台積電，兩公司在EUV技術競爭中會更加激烈。

（校對/團團）

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