三星：明年推5/4nm EUV工藝，2020年上馬3nm GAA工藝

2020-08-31

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隨著Globalfoundries以及聯電退出先進半導體工藝研發、投資，全球有能力研發7nm及以下工藝的半導體公司就只剩下英特爾、台積電及三星了，不過英特爾可以排除在代工廠之外，其他無晶圓公司可選的只有三星以及台積電了，其中台積電在7nm節點可以說大獲全勝，流片的7nm晶片有50+多款。

三星近年來也把代工業務當作重點，此前豪言要爭取25%的代工市場，今年三星公布了未來的製程工藝路線圖，現在日本的技術論壇上三星再次刷新了半導體工藝路線圖，今年會推出7nm EUV工藝，明年有5/4nm EUV工藝，2020年則會推出3nm EUV工藝，同時電晶體類型也會從FinFET轉向GAA結構。

三星電子4日在日本舉行「三星晶圓代工論壇2018日本會議」，簡稱SFF Japan 2018，這是三星第二次在日本舉行代工會議，日本PCwatch網站介紹了三星這次會議的主要內容，三星的口號是「最受信任的代工廠」，並公布了三星在晶圓代工上的最新路線圖。

三星高管表示2018年晚些時候會推出7nm FinFET EUV工藝，而8nm LPU工藝也會開始風險試產，2019年則會推出5/4nm FinFET EUV工藝，同時開始18nm FD-SOI工藝的風險試產，後者主要面向RF射頻、eMRAM等晶片產品。

2020年三星則會推出3nm EUV工藝，同時電晶體結構也會大改，從目前的FinFET變成GAA（ Gate-All-Around）結構，GAA公認為7nm節點之後取代FinFET電晶體的新一代技術候選。

三星在這次的論壇會議上表示他們是第一家大規模量產EUV工藝的，這點上倒是沒錯，台積電要到第二代7nm工藝N7+上才會使用EUV工藝，但是三星比較激進，7nm節點上會直接上7nm EUV工藝，未來的5/4/3nm節點也會全面使用EUV工藝。

根據三星的說法，他們在韓國華城的S3 Line生產線上部署了ASML的NXE3400 EUV光刻機，這條生產線原本是用於10nm工藝的，現在已經被改造，據說現在的EUV產能已經達到了大規模生產的標準。

此外，三星還在S3生產線之外建設全新的生產線，這是EUV工藝專用的，計劃在2019年底全面完成，EUV的全面量產計劃在2020年完成。

對三星來說，他們的7nm客戶都有誰至關重要，特別是在台積電搶下絕大多數7nm訂單的情況下，原文作者認為台積電的7nm產能不可能包攬所有7nm訂單，三星依然有機會搶得客戶，因此他猜測某公司下一代的GPU有可能交由三星代工——不過他強調這是自己的推測。

在GPU代工上，三星使用14nm工藝給NVIDA的GTX 1050 Ti/1050顯卡的GP107核心代工過。

下面是三星在封裝測試方面的路線圖了，目前三星已經可以提供FOPLP-PoP、I-Cube 2.5D封裝，明年則會推出3D SiP系統級封裝，其中I-Cube封裝已經可以實現4路HBM 2顯存堆棧了。

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2020-09-12