EUV光刻機有望進入中國?ASML與上海簽訂合作協議
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中國是全球最大的半導體市場,但是國產化率很低,主要的晶片研發、生產、測試都要依賴國外公司,所以這幾年主管部門加大了半導體產業投入,各地投資興建晶圓廠、封裝廠已經屢見不鮮。
有了政府扶植,國內公司不差錢,但是並不掌握半導體核心技術,比如光刻機這種晶片製造關鍵設備就嚴重落後於Intel、三星等公司。
受制於美國等國家的封鎖,中國公司有錢也買不到先進光刻機,特別是下一代工藝中至關重要的EUV光刻機,不過EUV光刻機的生產方ASML日前宣布進軍中國,將在上海設立一個培訓中心。
光刻機是處理器製造過程中非常重要的一步
半導體製造工藝進入10nm之後,難度越來越大,目前在用的193nm光刻技術已經不足以應付未來7nm、5nm工藝需要,所以業界就在研發EUV極紫外光刻工藝。
這種光刻機難度非常大,10年前就看到Intel等公司聯合研發EUV光刻機的新聞了,到現在EUV光刻機還沒有成熟,不過曙光也在眼前了,EUV光刻機已經開始少量出貨,產能也在逐步提升,TSMC、三星都會在第二代7nm節點商用EUV工藝。
全球現在能研發EUV光刻機的也就荷蘭ASML公司,為此還得到了Intel、TSMC、三星等公司大筆投資,這三家也是目前EUV光刻機最主要的客戶。
根據他們發布的2016年Q4財報,EUV光刻機去年訂單就有18台,總價值超過20億歐元,換算下來一台EUV光刻機至少要1億多歐元了,接近8億人民幣。
國內公司忌憚的倒不是價格,而是EUV光刻機現在並不能出口到中國,歐美對中國的高科技出口有限制,國內的半導體公司就算是想買也買不到EUV光刻機。
不過話說回來,中國這麼大的市場,ASML公司一直錯過機會也不甘心,無論如何也都會進入中國市場。
日前他們宣布與中國上海的集成電路研究開發中心(ICRD)達成了合作協議,雙方將在上海設立一個培訓中心,用於支持ASML客戶支持,同時還會對中國境內的集成電路工程師展開技術培訓。
這次合作雖然只是培訓中心,但也是一個開始,一步到位地在國內出售先進光刻機並不現實。
從此前展訊公司的表態來看,美國政府部門並不限制14nm工藝進入中國,否認同級別的TSMC 16nm工藝落戶南京也不可能的。
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