解禁！ ASML 的 EUV 光刻機終於要賣給中國了！

大陸半導體廠有錢難買EUV?

日前，全球光刻巨頭 ASML （阿斯麥）正式澄清， EUV 要進口到中國大陸完全沒有任何問題！2019年，中國大陸或將迎來首台 EUV 光刻機。

眾所周知，晶片是電子產品所必不可少的組件，晶片製造商要想成功地製造出晶片來，必須用到光刻機。

對晶片製造商來說，光刻機就是核心的生產設備。

目前，全球僅有極少數的光刻機設備廠商能夠研製出高端光刻機，而荷蘭的 ASML 則擁有全球晶圓廠光刻機設備高達8成的市場份額，在乾式曝光機、浸潤式光刻機， EUV （極紫外線光刻機）的市場幾乎處於獨霸地位，台積電、三星、英特爾等國際半導體巨頭都是其客戶。

由於 EUV 光刻機的生產難度和成本都非常大，導致 ASML 的 EUV 全年出貨僅12台，明年可望增加至20台，現累積未出貨訂單約27台，其中有5台已被台積電預訂，費款高達5.5億美元。

在國內，一直流傳著一種聲音....受西方《瓦森納協議》的限制，中國只能買到 ASML 的中低端產品，出價再高，也無法購得 ASML 的高端設備。

甚至還有人認為，台積電、三星等在製程上之所以大幅領先中芯國際，主要是因為 ASML 最先進的光刻機對大陸禁售。

那麼， ASML 的 EUV 光刻機真的對大陸禁售？到底是受產量限制，還是相傳受到國際條約《瓦森納協議》的制約？

近日， ASML 中國區總裁金泳璇在接受媒體（ DIGITIMES ）採訪時正式澄清， ASML 對大陸晶圓廠與國際客戶一視同仁，只要客戶下單， EUV 要進口到中國完全沒有任何問題。

在交期方面，所有客戶也都完全一致，從下單到正式交貨，均為21個月。

他還透露，目前已有大陸晶圓廠巨頭與 ASML 展開7納米工藝製程的 EUV 訂單洽談，2019年大陸首台 EUV 可望落地。

值得一提的是，中芯國際正好在今年3月宣誓進軍7納米，還表示已和 ASML 達成合作。

由此看來， ASML 所說的「大陸晶圓廠巨頭」應是中芯國際無疑了！

沒有 EUV ，大陸晶片製造死路一條

作為集成電路製造過程中最核心的設備，光刻機至關重要，晶片廠商想要提升工藝製程，沒有它萬萬不行，中國半導體工藝為啥提升不上去，光刻機被禁售是一個主要因素。

一般來說，一家晶片代工廠，從客戶那裡獲得一個晶片生產訂單開始算起，需要在60天內為該客戶生產完所有矽片，這些矽片經過封裝和測試等環節後，大約又需耗時一個月。

不過，如果這家晶片代工廠採用 EUV 光刻技術，所用生產時長將會大幅縮短，並且產品良率也會提高很多。

EUV 最大的優點就是20多天即可出廠，而用其他工藝則要80多天。

所以說，大規模量產必須要用到 EUV 。

而且，沒有 EUV 光刻機，大陸晶圓代工廠在7納米之戰中毫無勝算！

下附問答全文：

問：針對國內市場、客戶，各方現在傳出許多聲音，聽說國內晶圓廠都預定不到 EUV 光刻機「有錢難買 EUV 」？

答：首先，我必須澄清這絕非事實。

中國本地的晶圓廠與所有國際客戶，於 ASML 而言都是一視同仁的，只要是確認訂單， EUV 要進口到中國完全沒有任何問題

由於 EUV 零組件多達5萬多個部件，從客戶下單到正式交貨，交期約21個月，這個情況，對每個客戶都是完全一致的。

事實上，大陸客戶已進入7納米工藝製程技術研發階段，並且與 ASML 展開 EUV 的商談。

如果最終訂單確認，最快預期2019年 EUV 會首次移入中國晶圓廠，我們對在中國客戶裝入中國第一台 EUV 光刻機，抱持樂觀的期待。

同時認為一旦一家中國客戶採用，其他客戶也會快速跟進。

問： EUV 似乎是持續推進摩爾定律、延續未來納米工藝往下延伸的關鍵，未來進一步規劃與 ASML 對摩爾定律的看法？

答：毫無疑問摩爾定律會繼續下去 但每一製程技術節點之間的時間會延長，技術與資本門檻變得更高

浸潤式顯影技術走到三重曝光( triple-patterning )階段，成本已然超過 EUV ，生產交期更長、技術更為複雜，從量產的性價比角度， EUV 在7納米以下技術節點已屬於最適方案。

目前 EUV 光源已經可達250 watt ，達到每小時量產125片12吋晶圓，下一階段5納米技術節點以下 High-NA EUV 已經在布局研發。

問：目前中國市場業務布局與銷售情況如何？2017年全年成長幅度與2018年的增長率預估？

答：全球半導體行業版圖位移，不僅本地晶圓廠，包括國際晶圓廠也在增加中國投資， ASML 預期，中國光刻機市場規模具30億歐元潛力。

總體而言，目前 ASML 在中國市場的裝機量累積已達約500台，2018年可望續增超過50台的裝機量。

不僅一線大客戶，還涵蓋許多中、小型晶圓廠共計多達40多家客戶。

從銷售額軌跡來看，中國市場銷售額在2013-2015年維持持平，2016年微幅成長至6億歐元，2017年上半年中國市場銷售水平已達4億歐元，因此今年將較去年將有明顯增長。

由於中國晶圓廠2018-2019年持續投入資本擴充產能， ASML 2018年銷售很可能創下中國區銷售新高的紀錄，而2019年也會持續呈現更明顯的跳躍式增長。

關於光刻機其他看法

中國大陸的土地上從來就沒有過EUV光刻機，自然沒有相關的技術服務、售後人員，確切的說，中國大陸土地上的Fab的 ArF-Immersion 1970Di光刻機出現疑難雜症問題時，都還要從荷蘭ASML總部請工程師過來troubleshooting，更別說EUV了。

SK海力士在無錫的Fab 2016年光刻機出故障時，中國大陸無人能夠進行修理維護，還得從荷蘭請人。

荷蘭ASML工程師的人工海外工時成本高倒不是最撓人的事，最撓人的是晶片生產是爭分奪秒，多停工一天，利潤損失都是以億計算的。

三星和台積電 一直爭取瓦森納協議體系允許 其在中國大陸的子公司Fab的設備採購自主權。

不過呢，現在，三星、Intel、台積電 最需要關心的不是瓦森納協議體系的繁雜手續和禁令，而是ASML的產能不足，全球半導體三巨頭（intel，三星， 台積電）作為ASML的股東兼 研發投入戰略合作者，三家巨頭享有ASML的設備優先供貨權，可現在ASML產能太緊張了，連這三個東家的訂單需求都不能滿足。

三巨頭得在搶奪訂單中互相進行卡位戰了。

7月份ASML在報告中表示積壓了多達21台EUV光刻機 訂單，每台EUV光刻機的訂單成本高達1.5億美元（10億人民幣），今年前3季度只交付了7台EUV光刻機，從第三季度開始ASML的產能有所擴產，但預計全年也只能交付12台EUV光刻機。

即便瓦森納體系對半導體三巨頭在瓦森納體系以外國家區域的子公司Fab的設備採購權鬆綁，現在三星、台積電、intel 也根本沒有能力在瓦森納體系以外的經濟體的Fab中鋪設EUV產線，因為ASML的EUV產能太緊張了，連韓國、台灣、美國本土 自己的Fab產線升級需求都不夠。

光韓國 水原市 和 平澤市 的16個預計進入個位數納米製程的DRAM晶片廠、NAND晶片廠、LSI晶片廠 就需要至少 75台EUV，即便ASML 2018年產能提升到理想狀況的24台，3年內連滿足韓國領土內Fab都不夠，加上台積電、intel的本土Fab，哪還有產能 輸送到 半導體三巨頭在瓦森納體系以外國家的子公司Fab啊？