光刻機霸主ASML：高端機台已進入中國，明年7納米機台將落地報到

在中國發展晶片產業的道路上，眾人憂心的「人才」問題可以群策群力解決，「技術」可以焚膏繼晷努力研發，唯獨「關鍵設備」議題猶如中國晶片產業的軟肋，尤其是光刻機巨頭 ASML 更是永遠處於輿論的風口浪尖上。

對此， ASML 中國區總裁沈波重申，目前最成熟、最先進的光刻機都已進入中國，完全不存在高端機台不賣給中國廠商的問題。

沈波出任 ASML 中國區總裁一職以來，首次出席「 2018 中國集成電路產業發展研討會暨第二十一屆中國集成電路製造年會（ CICD ）」，沈波在會中發表演講時，除揭露 ASML 設備技術未來藍圖發展、中國布局、合併公司的進展等問題外，更重要的是，面對 DT 君提出外界長期以來的疑問，也就是 ASML 是否受到某些限制，因而無法銷售高端設備給中國廠商，沈波也逐一回答釋疑。

ASML 強調所有商用機台都可以進口中國市場，明年更會有7納米落地

沈波點出，網絡上很多人討論 ASML 沒有把最好的機器賣給中國，這並非事實，因為，現在 ASML 的極紫外光（EUV）機台已經進入中國，其中， NXT : 1980 是目前 ASML最成熟的機台，也已經進入中國。

沈波更透露， 這邊的客戶從來沒有拿不到最先進機台的問題。

ASML 新款的 NXT: 2000 機台很快就會在中國市場上看到。

而 ASML 的 NXT : 2000 是深紫外光（DUV）機台，多數用於生產高端的 7 納米和 5 納米工藝技術，這也暗示，中國將進入高端 7 納米技術的生產之列。

事實上，中國占 ASML 業務比重越來越大，以今年上半年來看，中國市場占其營收約 20 %，估計全年平均約可達到 15 % 左右，目前 ASML 在中國的客戶有中芯國際、華虹半導體、長江存儲、合肥長鑫、英特爾大連廠、SK海力士西安廠等。

（來源：主辦方）

單是今年，就有中芯國際引進首台 EUV 光刻機，還有長江存儲武漢廠、華虹集團旗下的華力微電子均引進 ASML 的機台。

但他也點出一個重點，中國晶圓廠是遍地開花，但真正實現量產的晶圓廠，會比宣布的要少很多。

沈波強調，晶片的生產製造並不是有了光刻機，就能把什麼問題都解決了，晶片的製造流程非常複雜，要解決一道道技術難題後，才能順利生產。

沈波更進一步表示， ASML 所有商用的光刻機產品，無論是最成熟的、最先進的光刻機，都可以進口到中國。

包括許多媒體報導對於 ASML 的另外一個疑慮，是多年前英特爾、台積電、三星曾經參與「EUV 投資計劃專案」，加速 ASML 的 EUV 機台技術研發，外界擔心，產能十分有限的 EUV 機台會不會被上述的三家廠商包下訂單，導致其他的半導體廠無機台可買？

對此，沈波也特別說明，當初三家半導體大廠投資 EUV 計劃專案，主要是怕 ASML 不做了，產業會出現技術瓶頸，現在公司的機台產能是每年逐漸提高，訂單是按照客戶下單的先後順序，並非這三家公司當初參與投資，就先拿到機台，應該是說這三家公司因為提早做技術準備，因此比較早用到 EUV 技術。

ASML 連續 16 年穩居光刻機龍頭， EUV 機台壟斷是關鍵原因

ASML 目前的三大產品線為 EUV 、 DUV 和 application products。

當中， DUV 是出貨量最大的產品，而 EUV 是最具前瞻性的產品，從 2018 年～ 2020 年的成長性可以看見大幅往上，目前公司也積極擴充產能，從年產能 20 台，明年提升至 30 台，後年再提升至 40 台。

另外，在 application products 部分，主要是 20 納米以下製程市場，像是 14 納米、 7 納米，該產品線成長率非常高。

（來源：DeepTech）

根據美國調研機構的資料顯示， 2017 年全球半導體光刻設備廠中， ASML 仍以 85 % 的市占率穩居龍頭，其次是日本廠商尼康（ Nikon ) 的 10.3 %，以及佳能 ( Canon ) 的 4.3 %，這已經是 ASML 連續 16 年穩居市場第一，而 ASML 以幾乎壟斷的地位存在於光刻機領域，主要就是因為它是全球唯一能提供 EUV 機台的半導體設備廠。

沈波指出，今年投入 16 億歐元在研發上面，占營收比重約 15 % ，且今年是公司 EUV 機台上非常重要的一年，客戶要把 EUV 技術導入量產，目前 EUV 機台每小時產出片數達 125 片，在實驗室中可達 140 片，且光源 250 瓦的穩定性很高，明年客戶採用 EUV 的規模會再擴大。

ASML 擴大布局中國市場，在上海成立培訓中心

ASML 進入中國市場已經 18 年了，日前也持續擴大布局中國市場，目前有 13 個辦公室，兩個研發中心分別在北京和深圳，近期在上海也成立培訓中心，估計 ASML在中國員工約 1000 人。

此外， ASML 前幾年併購的漢微科，主力為電子束技術，在北京有將近 60 人的研發團隊。

這兩年兩家公司一直在做整合，包括技術和產品的整合，和原本公司強項的光刻機結合起來，提供客戶完整的光刻解決方案，今年也會有新產品，包括光學量測機台、多重電子束機台，朝為客戶提供全方位解決方案邁進。

（來源：DeepTech）

沈波表示，中國半導體市場處於前所未有的歷史階段，然遇到的阻礙也很多，行業更需要精誠合作，大家形成夥伴關係，而不單只是供應商關係，彼此更是夥伴關係。

他也觀察到，邏輯客戶的技術發展是走在最前端，晶片越做越小，繼 FinFET 架構技術後，三星也提出 GAA 架構技術，而在存儲技術這塊， 3D NAND 是不錯的方向，晶片更為立體化後，未來要軟硬技術結合優化產品。