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台積電備戰二代7nm與5nm，重金搶下ASML半數EUV光刻機

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荷蘭半導體設備大廠商ASML在財報會議上表示，外媒報導，晶圓代工龍頭台積電增加訂單，ASML的2019的出貨量從18台提高到30台，而台積電將搶下這30台EUV中的18台，超越半數。

台積電延續7納米製程領先優勢，為順利在首季啟動EUV技術加強版7納米製程，傳荷蘭半導體設備大廠ASML的30台EUV設備，已經被台積電搶購18台，力拚2代7納米製程進入量產，除了拉開與強敵三星的實力差距以外，也為今年iPhone新機A13處理器積極備戰。

其實，去年三星為拖延台積電推進EUV製程進度，企圖買斷ASML所生產的EUV設備未能成功。

另據Electronics Weekly引用供應鏈消息指出，今年ASML將銷售30台EUV機台設備，台積電砸重金吃下18台，英特爾、三星等DRAM客戶瓜分其餘12台，而中芯只有在2018年下單1台。

據了解，台積電先進位程進展順利，7納米EUV技術加強版製程將在3月底量產，7納米及7納米EUV製程，至今年底流片（Tape out）將超過100個，並使7納米晶圓銷售占比從2017年的9%一口氣拉高到25%。

此次台積電大吃 EUV 光刻機數量，為的應該是就是加速內含 EUV 技術的 7 納米加強版製程量產之外，還有就是之後 5 納米，甚至更先進的製程技術打下基礎。

事實上，之前台積電總裁魏哲家在法說會上就曾經表示，2019 年上半年將流片 5 納米製程，2020 年上半年則將正式量產 5 納米製程。

目前包括蘋果A12、華為麒麟980等行動處理器皆採用台積電7納米製程晶片，但首代7納米製程採用DUV技術，已經無法滿足更先進位程技術需求，因此台積電狂吃18台EUV光刻機數量，除了加速EUV技術7納米加強版製程量產外，也為往後5納米製程技術紮根，除擁有多家高階手機晶片代工肥單外，未來5G及AI主流市場訂單也可望到手。

知情人士透露，蘋果2019年iPhone新機採用A13處理器，仍由台積電獨家供應，並在第2季使用內含EUV技術7納米加強版製程來量產A13處理器，或許是台積電急於砸大錢搶購EUV設備的關鍵原因。

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