三星開始量產導入EUV微影技術的7納米晶片

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三星於周四(10/18)表示,已完成所有製程技術的開發,已開始量產導入極紫外光(Extreme Ultraviolet,EUV)微影技術的7納米低功耗(7-nanometer Low Power Plus,7LPP)晶片。

三星越過了傳統的7納米製程技術,向台積電下戰帖,挑戰台積電目前於7納米製程市場的龍頭地位。

根據三星的說明,EUV使用13.5納米波長的光線來曝光矽晶片,而傳統的氟化氬(ArF )氣體雷射浸沒技術則只能實現193納米波長,此外,EUV能夠只使用單一光罩模塊來創建矽晶片層,通過ArF最多需要4個光罩模塊,相較之下,7LPP將能減少20%的光罩模塊,節省客戶的時間與成本。

因此,與10納米的FinFET製程相較,導入EUV技術的7LPP因有較少的層數及較大的產量,大幅降低了製程的複雜度,且最多可提升40%的面積效率,因而可增加20%的性能或減少50%的功耗。

負責晶片代工業務的三星副總裁Charlie Bae表示,他們相信7LPP將不只是移動及高性能計算的最佳選擇,也將替各種尖端應用帶來契機,從5G、人工智慧、大規模數據中心、IoT、汽車到網絡等。

三星也計劃在2020年替客戶量產基於EUV的各種定製化晶片。

三星在製程上的跳躍是為了趕上全球晶片代工龍頭台積電,台積電為全球最早進入7納米晶片市場的半導體企業,在今年4月率先量產7納米晶片,也是蘋果7納米A12 Bionic晶片的獨家供應商。

根據AnandTech的報導 ,台積電已於特定非關鍵層採用EUV微影技術,相關晶片被歸類為第二代的7納米製程晶片(7+納米),並在今年10月上旬試產(Tapeout)。

此外,台積電也已準備在明年4月進入採用完整EUV微影技術之5納米製程的風險生產( Risk Production)階段,預計於2020年的第二季量產。

在全球第二大晶片代工廠格羅方德(GlobalFoundries)於8月宣布將無限期擱置7納米FinFET製程之後,讓7納米晶片市場成為台積電、三星與英特爾三方競逐的局面,且目前看來英特爾也已被台積電及三星遠拋在後。


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