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ASML接獲設備大單 EUV微影商用進展邁大步

微影設備製造商ASML近期宣布,接獲美國一家主要客戶十五部EUV機台訂單,並將於今年底開始陸續出貨;同時間,日本光阻材料大廠JSR也與IMEC合資成立新公司,致力生產EUV微影所需的光阻劑,為E...

EUV微影技術準備好了嗎?

又到了超紫外光(EUV)微影技術的關鍵時刻了。縱觀整個半導體發展藍圖,研究人員在日前舉辦的IMEC技術論壇(ITF)上針對EUV微影提出了各種大大小小即將出現的挑戰。到了下一代的10nm節點,降...

EUV微影前進7nm製程,5nm仍存在挑戰

EUV微影技術將在未來幾年內導入10奈米(nm)和7nm製程節點。 不過,根據日前在美國加州舉辦的ISS 2018上所發布的分析顯示,實現5nm晶片所需的光阻劑仍存在挑戰。極紫外光(extrem...