中芯訂購EUV設備交付被延期？ASML官方回應來了

近日，據日經亞洲評論報導稱，荷蘭EUV（極紫外線）光刻機供應商ASML將推遲對晶圓代工廠商中芯國際的交付出貨。

作為極紫外光刻晶片工具（EUV）的全球唯一供應商，延遲發貨將對中國晶片製造造成重擊。

去年5月，中芯國際於向ASML訂購了一台價值1.2億美元的EUV光刻機。

日經從三位消息人士處獲悉，中芯國際訂購的這台設備計劃於今年年底交付，2020年中期完成安裝，但目前貨物正在「等待後續通知」。

6日（北京時間）晚間，路透社報導指出，ASML第一時間回應表示，該公司向一家中國客戶出口其最先進的設備之一的許可證已經到期，正在等待荷蘭政府批准新的許可證。

ASML發言人Monique Mols進一步解釋稱，這台設備的價格大約為1億歐元，「ASML只是在遵守法律，法律明確指出，只有在擁有出口許可證的情況下才能夠將EUV設備運輸出去」。

ASML官方向集微網記者回應稱，「ASML延遲中芯國際EUV設備出貨」這一說法有誤，公司對於全球客戶一視同仁。

根據瓦納森協議，ASML出口EUV設備到中國需要獲得荷蘭政府的出口許可，而這一許可已於今年到期，ASML已在到期前重新申請了出口許可，目前正在等待荷蘭政府審核批准。

曾多次承諾

隨著中國半導體產業發展進程加速，ASML在中國的業務增長明顯。

據ASML 2018年第1季、第2季財報顯示的當季銷售數據，大陸地區的銷售占比約20%，與美國市場相當，超過了台灣市場。

為表深耕中國市場的決心，ASML讓最新的中國區總裁沈波替換掉了原先的韓裔負責人。

近年來，雖然市場上關於ASML的謠傳四起，但ASML都一一否認，並不斷重申中國市場的重要性。

去年8月，就有傳言稱ASML公司受到美國政府禁止，不能招收中國員工。

隨後，ASML回應表示：「這是個不實傳言，ASML招人的時候一般不會有國籍限制，我們歡迎來自全球各地的工程師」。

另外，還有人擔心《瓦森納協議》讓中國大陸買不到ASML最新的設備。

對此，沈波曾表示，這是對ASML的誤解，ASML的光刻機一直都有在大陸銷售。

他還承諾，最先進的設備也將能夠在大陸市場看到。

今年6月，中國另一家晶圓代工廠華虹半導體的無錫12英寸生產線也順利搬入了3台ASML光刻機設備。

ASML全球資深副總裁Bert Savonije表示，ASML非常榮幸能參與中國半導體產業發展，並做出貢獻，未來希望能繼續貢獻力量。

毫無疑問，ASML看好持續增長的中國半導體市場，未來也想繼續擴大在中國的業務版圖。

相信對於中芯國際的這台EUV設備的交付事宜，ASML一定會慎重對待。

其他美國設備廠商的態度？

光刻只是半導體製造流程中的一個環節，在蝕刻、研磨、清洗等製程上還需要用到非常多的半導體設備。

除了荷蘭ASML，美國應用材料、Lam Research和KLA都是全球半導體行業的設備供應商。

應用材料財務長Daniel Durn曾表示，公司已制定計劃、確保將與中美貿易緊張局勢相關的任何關稅凈影響降至最低。

第二季度中國大陸市場仍然占據公司營收比重達到了28%，為全球最高值。

KLA資深副總暨營銷長Oreste Donzella也曾在接受集微網記者採訪時指出，中國大陸是半導體增長最快的一個地區，KLA 2018財年第二季度中國大陸營收占比32%僅次於韓國（34%）。

未來KLA將會提供完善、多樣化的技術和本地化服務，來助力中國半導體產業發展。

Lam Research在參加中國首屆進博會時強調，中國市場的規模決定了這裡的機遇，對中國市場抱有非常強的信心，也很高興能夠參與到中國半導體產業的發展中來。

今年4月，雖然三安光電由於被美國政府納入了「未經驗證清單(Unverified List, UVL)」，應用材料曾因此短暫的停止了雙方的業務聯繫，但經過有效溝通，不久後又重啟了供貨與合作。

從這三家美國半導體設備廠商的態度就足以見得，哪怕是土生土長的美國廠商，對於中國半導體市場倍加重視。

即使由於政府法規而出現了小插曲，都十分積極的去溝通和解決。

荷蘭工廠聽命？

在中美貿易戰的大環境下，很容易將ASML推遲交付一事也歸咎於美國的干涉。

那麼連美國本土設備廠都沒有做的事情，ASML作為一家荷蘭廠商，會聽命於美國嗎？

Market Intelligence＆Consulting Institute的高級技術分析師Chris Hung表示：「所有與晶片相關的公司，不論是不是美企，在將產品運往中國時都會十分謹慎。

畢竟，許多智慧財產權、材料和基礎科學仍由美國控制」。

以另一家中國企業華為為例，該公司在被列入「實體清單」後，英國晶片供應商arm隨即宣布中止與華為的合作，原因是arm部分技術原產於美國。

不過，arm在完成了法律方面的審查過後，又恢復了與華為的相關業務。

除了arm之外，目前華為大多數的美國供應商也都在通過合規性審查之後，恢復了對華為的供應。

因此，在ASML推遲中芯國際的EUV設備交付這件事中亦是如此。

消息人士指出，ASML製造機器所需的零件中有五分之一是在美國康乃狄克州的工廠生產的。

即便ASML被迫需要進行「合規性審查「，一旦符合條件之後也會恢復交付。

中芯國際方面回應此事時也表示，該項目仍處於「書面工作階段」。

目前，公司先進工藝研發進展順利，研發與生產的連結一切正常，客戶與設備導入正常運作。

值得一提的是，目前多家華為的美國供應商逐漸恢復供應，中美關係已經出現了緩和的跡象。

近日，美國商務部部長威爾伯·羅斯甚至表示，中美之間的預計最快將於本月在愛荷華州、阿拉斯加、夏威夷或中國某地達成貿易協議。

這對於ASML與中芯國際之間的這筆交易來說，或許是一個好消息。

就算荷蘭政府擔心招惹到美國，如果美國自身對於中國的態度開始好轉，那麼荷蘭政府一定也不會再多做文章。