美國牽頭向中國封鎖70年的技術 光刻機ASML能否向中芯國際交貨

文/超腦智能

在德州儀器、海力士等晶片廠商公布財報之際，幾個小時前，荷蘭光刻機霸主阿斯麥（ASML）公司也公布了2018年第四季度及全年業績報告，而在當天的聲明中，公司CEO彼得·維尼克（Peter Wennink）特別指出，中國對其產品的需求強勁，繼續看好對中國的出口。

作為目前全球最先進極紫外（EUV）光刻機的唯一供應商，阿斯麥在美國牽頭的《瓦森納協定》（Wassenaar Arrangement）的影響下，一度對中國禁售高端光刻設備，阻礙了中國在晶片製造領域的發展，但此種局面在去年迎來轉機。

2018年5月，《日經亞洲評論》曝料稱，中國晶片加工企業中芯國際已向阿斯麥訂購了一台最先進的EUV光刻機，價值1.2億美元，預計2019年年初交貨。

但我們也不要忘記在18年12月1日，ASML公司發布消息稱，其主要元件供應商Prodrive工廠12月1日發生火災，ASML預計明年年初出貨預計將遭遞延。

中芯國際作為ASML的客戶之一，預定的EUV光刻機，能否如期交付很令人擔憂。

參與美國制定的《瓦森納協定》，對中國封鎖技術

談起ASML，這是一家低調的大佬級企業。

坐落於荷蘭的這家公司，主營業務就是生產光刻機，尤其是晶片級的EUV。

眾所周知，晶片就是用光刻機在矽片上蝕刻出來的，光刻機是晶片製作最基礎的工具，而光刻機的精度就決定了晶片的精度。

但ASML技術太複雜，產量一直上不去，2018年ASML在市場出貨量預計破天荒達到18台。

目前在28納米以下的高精度晶片光刻機市場，只有ASML一家供應商。

也就是意味著，如果企業想選用主流晶片技術，就不可避免的成為ASML設備生產的晶片產品的用戶。

荷蘭是全球為數不多擁有完整半導體產業鏈的國家，其半導體產業年收益高達百億歐元以上。

ASML這家公司1984年從飛利浦獨立出來後，受益於荷蘭完整的半導體產業鏈，取得了飛速發展。

說實話，光刻機技術沒有捷徑。

如果沒掌握1微米的技術，就出不來90納米的技術，沒有90納米就出不來45納米技術，而現在最新的技術實力，ASML是唯一一個可以提供完整7納米光刻機技術的廠商。

在去年12月1日的大火後，最受影響的就是目前三星和台積電正在如火如荼展開的7納米之爭。

2019年雙方比拼的核心產品，都是7納米的晶片。

目前可以知道的是，三星將於2019年第二季度推出自己的7納米晶片，而台積電最遲到2019年8月，也會將代工的7納米華為麒麟990晶片推向市場。

作為晶片生產的龍頭企業，這兩家的動向深刻影響著行業變局。

但是突發的一場大火，可能會將7納米晶片面世時間往後順延。

據相關人士介紹，目前ASML仍提供的是12納米和10納米晶片光刻機，並沒有大規模向外提供7納米精度的光刻機產品。

而此次著火的主要元件供應商Prodrive公司，據業內人士透露是向ASML提供光頭控制整體解決方案和光刻機中控板的廠商，是最核心的合作夥伴，雙方有互換股權深度捆綁。

中芯國際2019年按原計劃將獲取1台ASML製造的7納米EUV光刻機。

說實話，根據美國牽頭制定的《瓦森納協定》，歐洲和美國的企業在高技術上實際是對中國進行了嚴格的技術封鎖，ASML也一直以來拒絕向中國出售最新光刻機產品。

此次破天荒接受中芯國際的訂單，一方面是國際貿易方面美歐爭端加劇的產物，另一方面也與中國正在攻關相關光刻機技術有關。

中國實現技術自主突破 協議參與者主動放行

2018年5月11日，上海微電子舉行第100台國產高端光刻機交付產線暨產品發運長電先進儀式。

上海微電子的光刻機是首次在國內實現了穩定的前道90納米製程晶片生產，有半導體業界人士表示，攻克90納米技術後，65和45納米技術都應該是順理成章的，預計上海微電子已經在實驗室內實現了相關技術進程。

而再低一些的28納米和14納米進程，才是最近幾年國內攻關的重點。

正是在上海微電子90納米進程光刻機穩定下線後不到一周，ASML就決定對中芯國際求購1台7納米光刻機訂單放行，其中的奧妙不難推測。

光刻機是半導體製造領域的核心設備之一，阿斯麥則是這個行業內的領軍企業。

美國數據分析機構TIN的數據顯示，2017年阿斯麥的市場營收份額占比為87.4％，高出第二名尼康75.1個百分點（10.3％）。

其中在EUV光刻機上，阿斯麥更是處於「壟斷」地位——這家公司是全球唯一能生產EUV光刻機的企業。

作為現今最先進的晶片製造設備，EUV光刻機是唯一能夠製造7納米以下製程的設備，因此也被稱為「突破摩爾定律的救星」。

關於荷蘭ASML的做法讓我想起了是1993 年中國自行研製的第一台用微處理器晶片(88100 微處理器)構成的全對稱緊耦合共享存儲多處理機系統(SMP)曙光1號計算機的誕生，定點速度每秒 6.4億，主存容量最大768 MB。

當時我國的科研人員也是在《瓦森納協定》的壓力下無法實現進口，只好自力更生，這是中國超算歷史上里程碑式的事件。

「曙光一號」誕生後僅3天，西方國家便宣布解除10億次計算機對中國的禁運。

1994年，「曙光一號」被寫入李鵬總理當年的政府工作報告。

關鍵詞：晶片、中芯國際、尼康、光刻機、半導體晶片