稱不用EUV!中芯國際將在第四季試產7納米,國產化終於來了
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相信大家對中芯國際並不陌生,此前由於美國的多方阻撓,中芯國際原本花費1.2億美元從荷蘭訂購的EUV光刻機設備交付遙遙無期,外界擔憂中芯國際只能徘徊在14nm左右。
因為EUV光刻機是實現7nm以下先進位程工藝必不可少的設備。
但是現在好的消息是,中國半導體大廠中芯國際將於今年第四季量產14納米並且投入7納米的試產,預其明年也能正式量產,稱不用EUV。
中芯國際已經規劃了N+1、N+2製程工藝。
新製程工藝N+1作為14納米的後繼者,而且性能相比14納米性能提高了近20%,也被稱為7納米製程的開始。
而且N+2製程工藝更加突出,同樣被稱為第二代7nm工藝。
其實台積電、三星在發展7nm工藝方面,同樣發展了3種製程。
中芯國際此次新製程不直接以節點命名,或許也是新思路發展7nm策略的一環。
中芯表示這兩種製程都不需要使用EUV光刻機就能完成。
若7納米明年真能在缺乏EUV設備的情況下順利量產,會是個好消息。
值得注意的是中芯國際目前量產的最先進位程為第一代FinFET 14nm工藝,該工藝已經成熟產量,產能已經在逐步提升,2019年第四季度已貢獻1%營收。
如果有了最新的EUV光刻機,就意味著中芯國際也有了生產7nm晶片的能力,中芯國際和台積電的代差也越來越小,具有梁孟松和光刻機的中芯國際,將會越過10nm跨代研發7nm。
而現在由於美國從中作梗,中芯國際沒能獲得最新的7nm EUV光刻機,所以只能按照三步走,逐漸向7nm成熟工藝靠攏。
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