英特爾10nm工藝揭秘:2.7倍電晶體密度,首次使用貴金屬釕
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英特爾現在的主力工藝依然是14nm,目前已經發展了三代14nm工藝,將會一直用到2019年底,之後才會升級10nm工藝。
不過10nm處理器最近已經上市了,聯想Ideapad 330就使用了10nm Cannonlake架構的Core i3-8121處理器,通過分析英特爾的10nm工藝電晶體密度達到了100MTr/mm2,是14nm節點的2.7倍,而且英特爾首次使用了貴金屬釕。
Techinsights日前就以聯想Ideapad 330中的Core i3-8121處理器為例分析了英特爾的10nm工藝,詳細報告還沒有發布,他們只公布了部分數據,英特爾的10nm工藝主要創新如下:
·邏輯電晶體密度達到了100.8MTr/mm2,也就是每平方毫米1億個電晶體,電晶體密度是14nm工藝的2.7倍多。
英特爾之前公布的自家14nm工藝特點
·10nm FinFET使用的是第三代FinFET電晶體工藝技術
·10nm工藝的最小柵極距(gate pitch)從之前的70nm縮小到了54nm。
·10nm工藝的最小金屬間距(metal pitch)從之前的52nm縮小到了36nm。
英特爾10nm工藝亮點:
·與現有10nm及即將問世的7nm工藝相比,英特爾10nm工藝具有最好的間距縮小指標
·在後端製程BEOL中首次聯合使用金屬銅及釕,後者是一種貴金屬
·在contact及BEOL端使用了自對齊曝光方案(self-aligned patterning scheme)
設計亮點:
·通過6.2-Track高密度庫實現了超級縮放(Hyperscaling )
·Cell級別的COAG(Contact on active gate)技術
關於英特爾的10nm工藝優勢,之前我們也介紹過,而且英特爾CEO科贊奇也解釋過他們的10nm工藝為什麼難產的問題,一大原因就是他們的10nm工藝指標定的太高了,10nm工藝100MTr/mm2的電晶體密度實際上跟台積電、三星的7nm工藝差不多,性能指標是很好的,但遇到了良率這樣的問題,所以量產時間上要比其他兩家落後兩年多。
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