為何中國能生產5nm的刻蝕機,卻只能生產90nm的光刻機?

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由於晶片在這一年以來,引起了網友們空前的關注,所以有關於晶片的設備也是受到了大家的關注,其中光刻機是晶片製造中必不可少的,吸引的目光自然不計其數。

眾所周知,ASML是光刻機的壟斷企業,最高端最先進的光刻機都是ASML生產的,像台積電、三星、英特爾等大廠都離不開ASML。

去年中芯國際也從ASML買到了最新的光刻機。

另外在晶片製造過程中,還有一種設備和光刻機類似,叫做刻蝕機,所以很多人對於光刻機,刻蝕機都是傻傻分不清楚。

再加上中國目前在刻蝕機上的技術很先進,甚至在去年國內的企業中微半導體設備就量產了5nm的刻蝕機,目前已交給台積電驗證了,所以很多人總是以為中國在光刻機上達到了5nm的水準。

事實上目前中國能生產的光刻機的技術是90nm,還在攻關65nm,45nm等技術,離ASML的7nm量產技術,差得還太遠,別說幾十年,十年八年的差距還是有的。

ASML光刻機

其實這兩種設備的功能是完全不一樣的,光刻機的意思是用光來刻錄,即用光線在矽晶圓上刻畫出電路圖來。

而刻蝕機則相反,用光來把不需要的部分去掉,只保留劃了電路圖的部分。

那麼為何國內能生產5nm的刻蝕機,卻只能生產90nm的刻蝕機呢?

最主要的原因是光刻機技術更複雜,設備也更複雜,很多的零部件是美日韓壟斷的,比如光源,國產的就完全技術不過關,跟不上。

甚至不僅是中國跟不上,之前和ASML一樣輝煌的尼康、cannon都落後了,跟不上ASML的節奏了。

國產光刻機

而刻蝕機相對技術簡單一些,所以目前國內並不比世界領先水平落後,所以才能夠擁有一席這地,目前國內的企業中微半導體和泛林、應用材料、東京電子、日立並稱為全球五大刻蝕設備巨頭。


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