國產5nm刻蝕機通過驗證,將用於台積電5nm晶片製造!
文章推薦指數: 80 %
近日,台積電對外宣布,將在2019年第二季度進行5nm製程風險試產,預計2020年量產。
與此同時,中微半導體也向「上觀新聞」透露了一個重磅消息,其自主研發的5nm等離子體刻蝕機經台積電驗證,性能優良,將用於全球首條5nm製程生產線。
值得一提的是,中微半導體也是唯一進入台積電7nm製程蝕刻設備的大陸本土設備商。
據悉,中微半導體與台積電在28nm製程時便已開始合作,並一直延續到10nm和7nm製程。
而中微半導體如此亮眼成績的背後,離不開尹志堯和他團隊的多年努力。
研究顯示,2015-2020年中國半導體晶片產業投資額將達到650億美元,其中晶片製造設備投資額就將達到500億美元。
但是中國晶片製造設備的95%都是依賴於進口,也就是說需要花480億到國外購買設備。
這也使得中國晶片製造設備的國產化成為了一件非常迫切的事情。
在美國矽谷從事半導體行業20多年的尹志堯,其在世界最大的半導體設備企業——美國應用材料公司擔任總公司副總裁,曾被譽為「矽谷最有成就的華人之一」,參與了美國幾代等離子體刻蝕機的研發,擁有60多項技術專利。
2004年,當時已經60歲的尹志堯放棄了美國的百萬年薪,帶領三十多人的團隊,衝破美國政府的層層審查(所有人都承諾不把美國的技術帶回中國,包括所有工藝配方、設計圖紙,一切從零開始),回國創辦了中微半導體,他要在晶片製造設備領域與國際巨頭直接競爭,取得一席之地。
等離子體刻蝕機是晶片製造環節的一種關鍵設備,其是在晶片上進行微觀雕刻,刻出又細又深的接觸孔或者線條,每個線條和深孔的加工精度是頭髮絲直徑的幾千分之一到上萬分之一。
這對刻蝕機的控制精度要求非常高。
據介紹,一個16nm的微觀邏輯器件有60多層微觀結構,要經過1000多個工藝步驟,要攻克上萬個技術細節才能加工出來。
只看等離子體刻蝕這個關鍵步驟,它的加工尺度為普通人頭髮絲的五千分之一,加工的精度和重複性要達到五萬分之一。
足見難度之高。
長期以來,蝕刻機的核心技術一直被國外廠商所壟斷。
2004年尹志堯回國創辦中微半導體之初就將目光鎖定在了刻蝕機領域。
中微半導體在剛剛涉足IC晶片介質刻蝕設備時,就推出了65nm等離子介質刻蝕機產品,隨著技術的進步一直做到45nm、32nm、28nm、16nm、10nm,現在7nm的刻蝕機產品已經在客戶的生產線上運行了,5nm刻蝕機也即將被台積電採用。
在米粒上刻字的微雕技藝上,一般能刻200個字已經是極限,而我們的等離子刻蝕機在晶片上的加工工藝,相當於可以在米粒上刻10億個字的水平。
中微半導體CEO尹志堯曾這樣形容到。
經過多年的努力,中微半導體用實力打破了這一領域技術封鎖,成功讓中國正式躋身刻蝕機國際第一梯隊。
在專利方面,中微半導體共申請了超過800件相關專利,其中絕大部分是發明專利,並且有一半以上已獲授權。
目前尹志堯的團隊精英中,上百人都曾是美國和世界一流的晶片和設備企業的技術骨幹,大都有著20到30多年半導體設備研發製造的經驗。
而且這些工程師們必須有著物理、化學、機械、工程技術等50多種專業知識背景。
今年4月,中微半導體 CEO 尹志堯在公開合表示,目前中微半導體在全球各地已經建置共計
582 台刻蝕反應台,並預期今年將增長至 770 台。
目前中微半導體產品已經進入第三代 10nm、7nm 工藝,並進入晶圓廠驗證生產階段,即將進入下一世代 5nm、甚至 3.5 nm 工藝。
尹志堯表示,未來十年將持續開發新產品,擴大市場占有率,中微的目標是:2020 年 20 億元、2050 年 50 億元,並進入國際五強半導體設備公司。
不過,需要注意的是中微半導體5nm刻蝕機的研發成功和獲得台積電採用,並不代表著中國大陸就可以自己生產5nm工藝晶片了。
因為晶片的生產工藝非常的複雜,刻蝕只是眾多關鍵環節當中的一環。
但是,很多自媒體為了吸引眼球,卻往往故意誇大事實,以點概面,以5nm刻蝕機這一個環節上的突破,就大肆宣揚中國已打破國外壟斷,掌握5nm技術、中國已可以製造5nm晶片。
在去年尹志堯在接受央視媒體採訪曾表示,「國際上最先進的晶片生產公司像英特爾、台積電、三星,它們的14nm已經成熟生產了,10nm和7nm很快進入生產,所以我們必須超前,5nm今年年底基本上就要定了,現在進展特別快,幾乎一年兩年就一代,所以我們就趕得非常緊。
」顯然,尹志堯在視頻中所指的5nm是指的5nm的刻蝕機。
但是,隨後這段採訪就被一大波媒體斷章取義,不顧事實的大肆吹噓。
搞得尹志堯不得不在朋友圈發文闢謠:「中微不是製造晶片的,只是為晶片廠提供設備」。
「如此墮落的文風誤國誤民,給真正埋頭苦幹的科學家和工程師添堵添亂添麻煩。
」尹志堯今年在接受採訪時再次強調:「宣傳要實事求是,不要誇大,更不要為吸引眼球,無中生有,無限上綱。
說我們的刻蝕機可以加工5納米器件,也只是100多個刻蝕步驟中的幾步。
」
確實,正如我們前面所說,刻蝕只是晶片製造眾多關鍵環節當中的一環,在先進位程的刻蝕設備領域取得突破雖然可喜,但是在其他如光刻機等領域,中國仍處於嚴重落後。
目前國內進展最快的上海微電子也只是實現了 90nm 光刻機的國產化。
當然,我們也不能妄自菲薄,除了中微半導體之外,不少國產半導體設備廠商也在一些相關領域的先進位程設備上取得了突破。
比如,在14nm
領域,矽/金屬刻蝕機(北方華創)、薄膜沉積設備(北方華創)、單片退火設備(北方華創)和清洗設備(上海盛美)已經開發成功,正在客戶端進行驗證。
相信隨著國產半導體設計及設備廠商的努力,以及中國半導體市場的需求快速增長的拉動,中國芯將會越來越強大。
中國製造「芯」力量:打敗眾多半導體設備巨頭,成功「打入」台積電!
73歲的尹志堯最近終於實現了「不再給外國人做嫁衣」的夙願,他一手創辦的中微半導體(以下簡稱「中微」),短短几年內就實現了核心領域的彎道超車。不僅率先掌握了5納米刻蝕技術,還打敗眾多半導體設備巨頭...
中微7納米蝕刻機受關注,國產半導體設備困境如何解
3日晚央視大型紀錄片《大國重器》第二季第六集《贏在互聯》重磅播出,中微半導體設備(上海)有限公司的7納米晶片刻蝕機榮幸被收錄其中。現階段半導體產業能量產的最先進的工藝節點是7nm,台積電全面領先...
台積電布局7納米製程,中微半導體成功入圍!中國集成電路行業又現一顆新星!
73歲的尹志堯最近終於實現了「不再給外國人做嫁衣」的夙願,他一手創辦的中微半導體(以下簡稱「中微」),短短几年內就實現了核心領域的彎道超車。不僅率先掌握了5納米刻蝕技術,還打敗眾多半導體設備巨頭...
5年打贏4場專利官司 這位70多歲的老人是中國晶片製造的最大功臣
當華為的麒麟970晶片準備跟蘋果的A11展開手機AI新時代爭奪戰時,很多人都在驚呼國產晶片進步的速度,然而卻很少有人知道是一個海歸中國人將中國的晶片製造能力縮短了三代距離。文 溯游尋
中微7納米蝕刻機受關注,國產半導體設備困境如何解?
集微網消息,3日晚央視大型紀錄片《大國重器》第二季第六集《贏在互聯》重磅播出,中微半導體設備(上海)有限公司的7納米晶片刻蝕機榮幸被收錄其中。現階段半導體產業能量產的最先進的工藝節點是7nm,台...
猶如「籠中困獸」的中國半導體,正在冒著敵人的炮火「匍匐前進」
在半導體這個領域,中國需要挑戰的是,西方上百年積累起來的工業體系。中國半導體一直是在冒著敵人的炮火匍匐前進,如今,敵人的炮火越來越兇猛。圍追堵截中,誰讓我「芯」痛?美國的驚人統治力1957年,電...
中國需要更多這樣的脊樑回國,其創辦的公司已瞄準3.5納米工藝
2016年中國前10強半導體設備商銷售收入48.34億元,同比增長28.5%,但其中最大的中電科電子裝備集團有限公司的銷售收入只有9.08億元,遠低於國際巨頭,我國前10強企業占全球半導體設備...
13年前,這個60歲的老人,棄美回國,只為咱的國貨能有一顆「中國芯」
當華為的麒麟970晶片準備跟蘋果的A11展開手機AI新時代爭奪戰時,很多人都在驚呼國產晶片進步的速度,然而卻很少有人知道是一個海歸中國人將中國的晶片製造能力縮短了3代距離。
中微半導體設備有限公司:制勝關鍵在人才
在過去9個多月時間裡,中微半導體設備有限公司取得了一系列成果:反應台交付量突破400台;單反應台等離子體刻蝕設備已交付韓國領先的存儲器製造商;雙反應台介質刻蝕除膠一體機研製成功,這是業界首次將雙...
華為手機「中國芯」讓中國半導體技術突破外企獨霸,離不開這個人
北京時間9月2日,華為「中國芯」麒麟970發布。華為在100平方毫米,指甲蓋大小的晶片里,安裝了55億顆電晶體。而蘋果最強的也只有33億顆,高通31億顆!還搭載了全球首款准5G基帶,支持LTE ...
他們放棄國外百萬年薪工作,只為一顆「中國芯」!
如果說在工業化時代,鋼鐵是工業的「糧食」,那麼在如今的信息化時代,「晶片」則就是現代工業的「糧食」。早在15年前,中國的晶片行業流傳這樣一句話,除了水和空氣以外,其它全是從國外進口的。目前全球5...
遇見智造,中微半導體IT創新實踐
「我國正在成為集成電路晶片和微觀器件生產的大國,到2020年,在我國新的晶片生產線上的投資將會超過美國、日本和韓國等地區的投資,中國會變成一個最大的晶片生產基地。我們相信到2030年,我國的晶片...
為華為代工?國產兩大晶片設備製造商助中芯國際打破台積電壟斷!
大家都知道智慧型手機最核心的硬體當屬手機晶片,以美國高通驍龍和蘋果IOS最為著名,其次是台灣聯發科、三星以及華為海思麒麟,小米的澎湃晶片剛剛推出不久暫列第三,但你是否知道它們僅僅都是晶片的研發者...
中微半導體成唯一進入台積電 7nm 製程的大陸本土設備商
集微網消息,因 10nm 製程遭遇前所未有的挑戰,故全球半導體產業紛紛將重要資源投入在 7nm 製程上,台積電、三星、GlobalFoundries、英特爾均已開始布局。據台媒報導,目前台積電的...
星星之火,可以燎原——國產半導體設備製造業發展概況 | 寧南山
關注風雲之聲提升思維層次解讀科學,洞察本質戳穿忽悠,粉碎謠言導讀從集成電路製造的生產設備來看,所有的設備我國都有廠家在攻關,只是由於技術難度和產線驗證原因有先有後,且主要客戶還是在國內。按照現在...