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ASML：摩爾定律不會死，最新光刻機支持5nm製程工藝

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2018中國集成電路產業發展研討會暨第二十一屆中國集成電路製造年會9月13日-14日正在無錫召開。

全球高端光刻機壟斷霸主ASML亞太區技術營銷協理鄭國偉介紹，2018年下半年ASML已開始出貨最先進的浸潤式光刻機NXT:2000i，符合集成電路製造5nm製程工藝需求。

ASML中國區總裁沈波在接受採訪時表示，這台ASML最先進的設備也將很快在中國市場看到。


此前曾有消息稱ASML受到限制沒有把最好的機器設備銷售給中國，對此，沈波表示，上述說法並非事實。

ASML的EUV、NXT:1980等高端設備均已進入中國。

目前ASML最新最先進的支撐7nm/5nm製程工藝的NXT:2000i也會很快在中國市場看到。

根據中銀國際機械團隊統計，2018年5月19日，長江存儲訂購的ASML193nm浸沒式光刻機運抵武漢；5月21日，華力二期（華虹六廠）訂購的193nm雙極沉浸式光刻機NXT:1980Di已經進場。

中芯國際也已向ASML購買一台EUV（極紫外線）光刻設備，預計2019年交付。

這些設備價格十分高昂，單價在7000萬美元至1.2億美元。

據統計，2017年全球半導體光刻設備廠中，ASML以80%以上的市占率穩居龍頭，其次是日本廠商尼康（Nikon)和佳能（Canon），而在高端EUV光刻機台方面，ASML幾乎100%壟斷供應。

「如果我們交不出EUV的話，摩爾定律就會從此停止」，ASML董事長Peter曾接受媒體採訪時說。

摩爾定律演進對設備廠商提出很大的技術研發挑戰，巨額的研發投入已經不是一家公司能夠負擔。

目前，英特爾、台積電、三星等ASML所服務的集成電路製造客戶，已經成為ASML的股東，協助ASML研發。

摩根大通最新報告表示，ASML已經確認1.5nm製程的發展性，可支撐摩爾定律延續至2030年。

沈波指出，2018年ASML投入16億歐元研發，占營收約15 %。

ASML總部位於荷蘭，脫胎于飛利浦光刻設備研究組，1995年在納斯達克上市。

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