價值4.5億！長江存儲的光刻機來了！

2020-09-07

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中國半導體論壇振興國產半導體產業！

據集微網消息，長江存儲的首台光刻機已於今天中午運抵武漢天河機場，相關手續辦理完成後，即可運至長江存儲的工廠。

這台光刻機為ASML的193nm浸潤式光刻機，售價7200萬美元（摺合人民幣4.5億左右）用於14nm~20nm工藝。

由於該設備價值高，而且對保存和運輸有著很高的要求——必須保持在 23 ℃恆溫狀態下。

為了避免影響設備的精度，在運輸中也對穩定性有極高的要求。

據悉，這是長江存儲的第一台光刻機，陸續還會有多台運抵。

為什麼隨便一台光刻機價格好幾億？

光刻機是晶片製造的核心設備之一，按照用途可以分為好幾種：有用於生產晶片的光刻機；有用於封裝的光刻機；還有用於 LED 製造領域的投影光刻機。

用於生產晶片的光刻機是中國在半導體設備製造上最大的短板，國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。

在高端光刻機上，除了龍頭老大 ASML，尼康和佳能也曾做過光刻機，而且尼康還曾經得到過 Intel 的訂單。

但是近些年，尼康在 ASML 面前被打的毫無還手之力，高端光刻機市場基本被 ASML 占據——即便是尼康最新的 Ar-F immersion 630 賣價還不到 ASML Ar-F immersion 1980D 平均售價的一半，也無法挽回敗局。

原因何在？一方面是 Intel 新 CEO 上台後，不再延續與尼康的 620D 合同，這使得尼康失去了一個大客戶。

另一方面，也和尼康自身技術實力不足有關，尼康的光刻機相對於 ASML 有不少瑕疵，在作業系統上設計的架構有缺陷，而且尼康的光刻機的實際性能和尼康官方宣傳的有不小差距，這使得台積電、Intel、三星、格羅方德等晶圓大廠不可能為了省一點錢去賣有瑕疵的產品。

目前，尼康的高端光刻機基本被 ASML 吊打，主流半導體產線中只有少數低階老機齡的光刻機還是尼康或者佳能，其他基本都是 ASML 的天下。

(中國半導體論壇公眾號:CSF211ic)某種程度上，尼康的光刻機也只能用賣的超級便宜來搶市場了。

那麼，賣的到底有多便宜呢？

用數據來說話，ASML 的 EUV NXE 3350B 單價超過 1 億美元，ArF Immersion 售價大約在 7000 萬美元左右。

相比之下，尼康光刻機的單價只相當於 ASML 價格的三分之一。

高端光刻機完全依賴進口

目前，光刻機領域的龍頭老大是荷蘭 ASML，並已經占據了高達 80% 的市場份額，壟斷了高端光刻機市場。

日本尼康在高端光刻機上完全被 ASML 擊敗，即便尼康的 ArF 光刻機售價僅僅不到 ASML 的一半也無補於事。

Intel、台積電、三星用來加工 14/16nm 晶片的光刻機都是買自 ASML，格羅方德、聯電以及中芯國際等晶圓廠的光刻機主要也是來自 ASML。

更關鍵的是，最先進的 EUV 光刻機全球僅僅 ASML 能夠生產，ASML 在去年第三季度和第四季度出售的兩台 EUV 光刻機售價都超過 1 億美元，落後 EUV 一代的 ArF 光刻機平均售價也在 4000 萬至 5000 萬歐元左右，從高企的報價和 EUV 光刻機全球僅此一家出售可以看出，光刻機的技術門檻極高，是人類智慧集大成的產物。

相比之下，國內光刻機廠商則顯得非常寒酸，處於技術領先的上海微電子裝備有限公司已量產的光刻機中，性能最好的是能用來加工 90nm 晶片的光刻機，技術差距說是鴻溝都不為過。

正是因此，國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。

不過，由於西方瓦森納協議的限制，中國只能買到 ASML 的中低產品，這一點從長江存儲本次夠得的光刻機報價僅為7200萬美元就可以看出來了。

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