中微交付韓國領先存儲器製造商用於3D VNAND快閃記憶體工藝的先進刻蝕機
文章推薦指數: 80 %
-Primo SSC AD-RIETM將在客戶最先進的試生產線上投入運行
上海和舊金山2015年7月9日電 /美通社/ -- 中微半導體設備有限公司(簡稱「中微」)宣布 Primo SSC AD-RIE™(中微單反應台等離子體刻蝕設備)已交付韓國領先的存儲器製造商。
Primo SSC AD-RIE™是中微公司目前最先進的介質刻蝕設備,可用於1X納米關鍵刻蝕工藝晶片加工。
在此之前,中微的 Primo SSC
AD-RIE™已在南韓的16納米最關鍵的刻蝕步驟上實現大批量生產。
這台交付的設備將在客戶最先進工藝的 3D VNAND試生產線上投入運行。
移動電子產品的飛速發展、以及大數據、社交傳媒的廣泛應用,使得人們對存儲器的存儲容量和讀取速度提出了更高的要求。
當前一代的 2D NAND 工藝很快將無法滿足不斷升級的需求。
3D VNAND 代表了下一代前沿工藝,中微的客戶正是技術進步的領跑者。
像存儲故障、光刻圖案技術的局限性等問題使在 2D NAND 工藝層面很難繼續向下一代工藝節點過渡,3D VNAND 則能解決這一難題。
3D
VNAND 帶來的好處還包括提高存儲容量和讀取速度,提升功率效能和可靠性,並降低生產成本。
「認識到 3D VNAND 快閃記憶體技術是存儲工藝的未來,我們在研發上投入了大量的人力和物力,與客戶緊密合作,開發用於這種高端製程工藝所必需的刻蝕技術。
」中微副總裁兼存儲及邏輯產品關鍵客戶大區總經理KI Yoon說道,「能夠在這家領先客戶的 3D VNAND
試生產線上占有一席之地是對我們長期努力的肯定。
另外,在這個只有少數一線刻蝕設備供應商高度競爭的領域,我們相信,我們的工藝質量和面對嚴峻技術挑戰的快速反應能力使我們贏得了訂單。
我們很高興也很自豪,能夠為這一重要客戶開發這項工藝。
」
Primo SSC AD-RIE 是採用高抽速,低壓,高能脈衝等離子體的手段為高深寬比刻蝕而開發的產品。
這是中微 Primo 刻蝕產品家族中的最新一代產品。
像中微其他所有刻蝕設備一樣,Primo SSC AD-RIE 具備先進的技術水平、超高的生產效率和較低的生產成本。
中微高管將參加下周(7月14日至16日)在美國舊金山舉辦的美國半導體設備和材料展覽會 SEMICON West。
一年一度的 SEMICON West 展會是全球半導體設備行業精英的重要盛會。
如需了解更多關於 SSC AD-RIE 和中微其他設備的信息,請訪問:http://www.amec-inc.com。
中微半導體設備有限公司:制勝關鍵在人才
在過去9個多月時間裡,中微半導體設備有限公司取得了一系列成果:反應台交付量突破400台;單反應台等離子體刻蝕設備已交付韓國領先的存儲器製造商;雙反應台介質刻蝕除膠一體機研製成功,這是業界首次將雙...
中國需要更多這樣的脊樑回國,其創辦的公司已瞄準3.5納米工藝
2016年中國前10強半導體設備商銷售收入48.34億元,同比增長28.5%,但其中最大的中電科電子裝備集團有限公司的銷售收入只有9.08億元,遠低於國際巨頭,我國前10強企業占全球半導體設備...
遇見智造,中微半導體IT創新實踐
「我國正在成為集成電路晶片和微觀器件生產的大國,到2020年,在我國新的晶片生產線上的投資將會超過美國、日本和韓國等地區的投資,中國會變成一個最大的晶片生產基地。我們相信到2030年,我國的晶片...
IC CHINA 2015展商巡禮:中微半導體
IC China 2015及同期舉辦的第86屆中國電子展、亞洲電子展將在上海新國際博覽中心隆重舉行。屆時,中微半導體設備(上海)有限公司將攜多款最新RIE 刻蝕設備、TSV刻蝕設備、MOCVD設...
5年打贏4場專利官司 這位70多歲的老人是中國晶片製造的最大功臣
當華為的麒麟970晶片準備跟蘋果的A11展開手機AI新時代爭奪戰時,很多人都在驚呼國產晶片進步的速度,然而卻很少有人知道是一個海歸中國人將中國的晶片製造能力縮短了三代距離。文 溯游尋
他們放棄國外百萬年薪工作,只為一顆「中國芯」!
如果說在工業化時代,鋼鐵是工業的「糧食」,那麼在如今的信息化時代,「晶片」則就是現代工業的「糧食」。早在15年前,中國的晶片行業流傳這樣一句話,除了水和空氣以外,其它全是從國外進口的。目前全球5...
本土IC生存實錄 | 未來篇
未來篇—需要進入藍海,解決發展與盈利之間的矛盾中微副總裁、CCP等離子體刻蝕產品總經理麥仕義博士帶我回顧了中微半導體的產品開發歷程。在中微半導體創立之初,半導體晶片工藝正從鋁導線向銅導線遷移,以...
華虹半導體MCU市場再發力 積極拓展國際版圖
200mm純晶圓代工廠——華虹半導體有限公司今天宣布,公司2016年上半年微控制器(MCU)晶片出貨量達12億顆,較去年同期增長50%,創歷史新高。憑藉其全面的嵌入式非易失性存儲器(eNVM)技...
集成電路產業投資報告:未來五年我國集成電路投資將達萬億
在未來 4-5 年間我國投入集成電路製造領域的資金將達到 1.2 萬億元,年均投資額超 過過去 5 年平均的 2 倍以上,未來 3 年投產 12 寸晶圓廠數量占全球比例 40%。根據整理的數據,...
中國半導體在三個領域打破了國外壟斷
十五年前,在集成電路領域有那麼一句話,那就是「除了水和空氣,其他做晶片的東西都需要進口」。誠然,中國大陸在集成電路領域落後於歐美日韓等先進國家。在CCTV2昨晚的《中國大陸財經報導》中指出,全球...
13年前,這個60歲的老人,棄美回國,只為咱的國貨能有一顆「中國芯」
當華為的麒麟970晶片準備跟蘋果的A11展開手機AI新時代爭奪戰時,很多人都在驚呼國產晶片進步的速度,然而卻很少有人知道是一個海歸中國人將中國的晶片製造能力縮短了3代距離。
莫大康:準備迎接更艱難的時刻到來
中國半導體業的發展有它的獨特規律,通常生產線的產能爬坡速率緩慢,用時相對久些,也即需要如「接力棒式」傳遞。但是中國半導體業發展在任何時候必須要充滿信心,堅持到底,因為我們有國家層面的支持,是全球...