迫於美國壓力延遲向中芯發貨？ASML回應

【文/觀察者網 齊倩】

荷蘭半導體設備供應商阿斯麥爾（ASML）近日宣布，或將推遲向中國半導體製造商交付極紫外光光刻機（EUV）。

該公司發言人表示，此決定是因為出口許可證到期，目前正在向荷蘭政府申請新的許可證。

作為極紫外光刻晶片工具（EUV）的全球唯一供應商，延遲發貨將對中國晶片製造造成重擊。

而此次受到影響的中國公司，疑為中芯國際（SMIC）。

日經新聞援引消息人士的話稱，ASML成為美國政府的「犧牲品」，「延遲發貨」的一大原因來自於美國政府的壓力。

對此，ASML在7日回應，指出公司正在申請許可證，但日經新聞所述「延遲出貨」僅為其媒體推測，ASML對此事從未評論或確認。

中芯國際也就此事回應稱，公司的EUV還處於「紙面工作」階段，尚未進行相關活動。

中芯國際強調，目前，公司的先進工藝研發進展順利，研發與生產的連接一切正常，客戶與設備導入均正常運作。

極紫外光光刻機（EUV），圖自ASML官網

日媒：受到美國政府的壓力

據路透社6日報導，該公司發言人莫尼克·莫爾斯（Monique Mols）表示，根據瓦聖納協議，ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可。

該出口許可於今年到期，ASML已經於到期前重新進行申請，目前正在等待荷蘭政府核准，預計將耗資1億歐元（約7.7億元人民幣）。

他說：「ASML只是在遵守法律。

法律規定，出口裝運EUV需要出口許可證。

現在我們已經重新申請。

」

《日經新聞亞洲評論》則在6日的報導稱，ASML此次推遲發貨並不僅僅是許可證問題，而是受到來自美國政府的壓力。

「因美國壓力決定延遲發貨」，日經新聞報導

報導援引消息人士稱，ASML暫時決定推遲EUV設備的交付，「是因為它不想讓美國政府對此感到不安」，因為EUV是目前最先進的晶片光刻機。

他補充道：「但與此同時，考慮到中國是現如今增長最快的晶片市場，ASML也不想讓中國及其中國客戶對此失望不滿。

」

據日經新聞數據，ASML公司92億美元（約644億元人民幣）的2018年年度銷售額中，約有16%來自英特爾和美光等美國公司。

另外，ASML製造機器所需的零部件，有五分之一是在美國工廠生產的。

而中國市場對於ASML也變得日漸重要：2018年，該公司19%的銷售額來自中國。

該知情人士表示，原計劃在2019年底交付給中國公司的EUV光刻機，將預計延遲至2020年年中。

被延遲發貨的中國廠商疑為中芯

據日經新聞報導，作為中國首家訂購EUV的中國晶片製造商，中芯國際被認為是此次受影響的訂購商。

儘管據路透社報導，ASML尚未就此事做出證實。

目前，業內已達成共識，必須使用EUV光刻機才能使半導體晶片進入7nm，甚至5nm時代。

去年5月，中國最大的晶片製造公司中芯國際向荷蘭ASML訂購了首台EUV光刻機，價值1.2億美元，幾乎相當於該司2017年全部凈利潤。

光刻機原計劃於2019年年初交付。

而在去年12月，臨近交貨時間，ASML突發大火。

根據官網信息，火災摧毀元件供應商Prodrive工廠的部分庫存、生產線，因此，2019年年初供貨情況預計將會遞延。

2019年已經臨近尾聲，EUV仍未交付至中芯，並再次面臨「延遲通知」的風險。

而ASML將此歸因於出口許可證到期。

2018年12月，ASML一供應商工廠發生火災，圖自荷蘭媒體

ASML回應：「延遲出貨」僅為其媒體推測

ASML於7日向《科創板日報》澄清稱，關於日經新聞有關中芯國際相關報導有誤，「延遲出貨」僅為其媒體推測，ASML從未評論或確認，對其將推測直接定性為事實作為新聞標題並在文中闡述，表示抗議。

ASML強調，對全球客戶一視同仁。

ASML最新回應，微博@財聯社APP 截圖

7日下午，中芯國際也就此事向《上海證券報》回應稱，公司的EUV還處於「紙面工作」階段，尚未進行相關活動。

中芯國際強調，目前，公司的先進工藝研發進展順利，研發與生產的連接一切正常，客戶與設備導入均正常運作。

光刻機是半導體製造領域的核心設備之一，ASML公司則是這個行業內的領軍企業。

尤其EUV光刻機上，ASML處於「壟斷」地位——這家公司是全球唯一能生產EUV的企業。

EUV光刻機作為現今最先進的晶片製造設備，是唯一能夠生產7nm以下製程的設備，因此，其也被稱為「突破摩爾定律的救星」。