EUV或將決定半導體產業方向,通快加緊布局
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近日,TRUMPF公司CTO及股東Peter Leibinger在談到令人著迷的 雷射 創新時重點提及極紫外光刻,也就是我們常說的EUV。
他認為,EUV令人著迷的原因是其極富挑戰性及對世界的重要影響。
Peter Leibinger
「如果我們無法實現EUV突破,摩爾定律將失效」 Peter Leibinger表示:「其影響範圍不僅僅是晶片行業,智慧型手機產業乃至整個電子裝備產業都將改變運作方式。
」
什麼是EUV?
極紫外光刻(Extreme Ultraviolet Lithography),常稱作EUV光刻,它以波長為10^-14nm的極紫外光作為光源的光刻技術。
具體為採用波長為13.4nm 的軟x 射線。
在半導體晶片及集成電路製造領域,目前主要採用193nm浸沒光刻技術對晶片上的精細特徵進行圖案化。
但是,193nm浸沒式光刻在80nm間距(40nm半間距)下達到極限。
為此,從22nm / 20nm開始,晶片製造商開始使用193nm浸沒光刻以及各種多種圖案化技術。
為了減小超過40nm的間距,多個圖案化涉及在晶圓廠中使用幾個光刻,蝕刻和沉積步驟的過程。
隨之而來的就是製程成本及周期時間的增長。
為了解決這些問題,晶片廠商開始將目光轉向EUV光刻。
相對於193nm浸沒式光刻,EUV光刻可以提供更高的k1,在提供高解析度的同時擁有較大的工藝窗口,從而減少光刻工藝複雜性。
正式基於這些優勢,EUV吸引了晶片製造廠商及設備廠商的廣泛關注。
三星公司表示,接下來的7nm工藝將採用EUV光刻。
在英特爾方面,雖然還沒有明確EUV光刻導入時間,但是也將其作為未來重要製程技術之一。
在產生極紫外光的各種光刻工具里, 雷射器 發揮重要作用。
為此,TRUMPF公司在EUV領域重點投入。
與ASML公司建立合作關係
2015年ASML向TRUMPF公司訂購了15台EUV光刻工具,而ASML則是全球EUV光刻領域領導者。
TRUMPF公司也表示將積極布局極 紫外雷射器 。
此外,TRUMPF公司也投資7000萬歐元在德國迪琴根建設一座占地34000平方米的工廠,主要用於生產極紫外光刻所需要的雷射器產品。
對於接下來即將出現的EUV訂單,TRUMPF公司充滿信心。
而ASML公司也預計其客戶將在2018至2019年後,開始將EUV光刻技術使用在晶片量產上。
因此,在2020年前,第一批搭載以EUV光刻技術生產的晶片的電子裝備將上市。
實際上,ASML公司接到的未出貨訂單已經高達21台。
另外,在柔性平板顯示屏製造中紫外雷射器應用需求也將進一步增加,這些都是TRUMPF公司對於EUV重點投資的原因。
收購Access Laser公司完善布局
近日,通快公司宣布收購Access Laser公司85%股份。
Access Laser公司主要生產高精密低功率 CO2雷射器 用於極紫外光刻(EUV),這也是通快公司主要的投資方向之一。
作為光源,該CO2雷射器和通快雷射放大器共同部署於EUV系統。
通快公司表示,通過此次收購將整合EUV技術供應鏈領域關鍵成員。
通快公司CTO及股東Peter Leibinger表示:「Access Laser是我們EUV業務的核心夥伴,一家富有創新力的 雷射企業 。
此次收購之後,兩家公司將更加緊密地合作以推進EUV技術發展,服務更多的應用及客戶。
」
經過多年的持續發展,EUV技術工藝逐漸成熟,這為公司銷售帶來很大促進作用。
Access Laser創始人及董事長張永方表示:「Access Laser一直富有創新精神。
此次在EUV技術領域的合作,成功展現了Access Laser和TRUMPF兩家公司的協作關係。
」
成立於1999年,Access Laser在美國和中國擁有超過60名員工。
其產品包括輸出功率在10mW到50W之間,峰值功率高達1KW的精密雷射器,應用於醫學、電子及科研領域。
此次收購價格,暫未對外公布。
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