刻蝕機打入台積電5納米產線！中微獲得的認可不止這些

集微網消息，台積電5納米產線進展迅猛，預計將於2020年實現量產。

而國產半導體設備的佼佼者中微半導體自主研製的5納米等離子體刻蝕機在近日通過台積電驗證，性能優良，將用於全球首條5納米製程生產線。

在此之前，台積電7納米晶片生產線也早已用上中微的刻蝕機。

作為晶片製造的關鍵裝備之一，中微半導體打入台積電供應鏈，證明國產半導體設備力量正在逐漸壯大。

作為晶片生產製造的重要設備，等離子刻蝕機用來按光刻機刻出的電路結構，在矽片上進行微觀雕刻，刻出溝槽或接觸孔的設備。

其對加工精度的要求非常高，加工精度是頭髮絲直徑的幾千分之一到上萬分之一。

2004年，尹志堯博士與杜志游博士、倪圖強博士、麥仕義博士等40多位半導體設備專家創辦了中微公司。

當時，世界上最先進的晶片生產線是90納米製程，但中微創立之初就開始研發40納米刻蝕機，超前兩代開展自主研發，同時經過海外引進和本土培養了強大的研發團隊，為刻蝕機研發這一系統工程奠定了基礎。

如今，中微與泛林、應用材料、東京電子、日立4家美日企業一起，組成了國際第一梯隊，為全球最先進晶片生產線供應刻蝕機。

刻蝕機曾是西方已開發國家的出口管制產品，但近年來，由於中微的出色表現，這種高端裝備在出口管制名單上消失了，證明只要我們突破技術壁壘，就不會再受限於人。

事實上，中微不止在刻蝕機市場進入國際一流供應商陣容，其多個半導體市場也獲得了客戶極高的評價。

市場研究機構VLSIresearch 12月發布的2018年度客戶滿意度調查（簡稱「CSS」）年終大盤點中，中微在全球薄膜沉積設備供應商排名中榮登榜首，在刻蝕和清洗設備供應商排名中位列第二，在台灣晶圓製造設備供應商排名中也僅次於荷蘭半導體設備巨頭ASML。

圖片來源：VLSIresearch 2018 Customer Satisfaction Survey

這次VLSI的年終大盤點中介紹了更多關於2018年度客戶滿意度調查的細節。

VLSI從1988年開始每年都會舉辦這項客戶滿意度調查，這是業內唯一一項讓不同地區的客戶對它們全球的半導體設備和子系統的供應商進行匿名反饋的調查，主要以供應商表現、客戶服務和產品性能為評判標準進行排名。

上榜企業名單中有來自美國、歐洲、亞洲和以色列的企業，中微是其中唯一一家中國本土的半導體設備公司。

雖然我國在半導體材料和設備上與國外先進仍有巨大差距，但是以中微為代表的國產化替代也在逐步進行中，相信未來，類似的技術突破將會越來越多，並最終實現從量變到質變的轉化。