機械設備：中芯14nm製程試產良率達95% 進口替代有望實現

根據中國供應鏈傳出的消息，中國最大的晶圓代工廠中芯國際，目前最新的14納米FinFET製程已接近研發完成階段，其試產的良率已經可以達到95%的水準，預計2019年可以順利實現正式量產的目標。

一、14nm是中芯主攻製程節點，試驗突破為實現目標註入強心劑

目前中芯國際已量產的最先進位程為28nm，但由於實現量產進度遠慢於台積電等企業，高折舊帶來的高成本使得28nm製程業務市場競爭能力有限，2018Q128nm業務營收僅占中芯總營收3.2%。

隨著2017年底中芯引入梁孟松擔任公司聯席首席CEO，中芯已將主要精力投入14nm製程技術研發中，根據此前規劃，預計將於2019年實現14nm製程的量產，並最終達成每月量產3.5萬片的目標。

此次14nmFinFET製程試產良率達到95%，標誌著14nm製程技術獲得重大突破，19年實現量產的目標預計能順利實現。

二、國產14nm設備已進入驗證階段，有望隨產線擴產實現國產化替代

目前包括北方華創的矽刻蝕機、PVD、CVD、ALD設備，中微半導體的介質刻蝕機，上海睿勵的光學尺寸測量儀器等設備均已在中芯14nm產線上進行設備驗證。

一般來說為保證第一條產線的順利量產，第一條14nm產線將全部採用國外設備，而在擴產產線實現產能爬坡的過程中，晶圓廠將會考慮使用國產設備降低產線成本，因此對於國產設備來說，中芯14nm產線的擴產過程將是實現國產化替代的黃金機會。

三、大陸晶圓產線建設潮帶動龐大設備需求，至少延續至19年上半年

根據我們對國內12寸晶圓廠的建設進度跟蹤數據，2016年至今已有17座晶圓廠開工，另有5座在規劃中。

按照70%的設備投資占比計算，已開工的17座晶圓廠就已帶來超4900億的設備需求，設備需求高峰將至少持續至2019年上半年。

對於國產半導體設備生產商來說，2018-2020年料將是實現設備進口替代的重要窗口期。

四、重點公司推薦北方華創(國內規模最大、布局最完善的半導體前道製造設備龍頭，多種28nm設備實現國產化替代，14nm設備進入產線驗證)、長川科技(國內後端封測設備龍頭，產品布局不斷完善)、精測電子(從面板檢測切入半導體檢測);建議關注中微半導體(介質刻蝕設備龍頭，進入台積電7nm產線)。

四、風險提示

產線建設不及預期，國產化程度不及預期。