國產集成電路設備重大突破 中微半導體5納米刻蝕機通過台積電驗證

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中證網訊(記者 楊潔)根據解放日報12月18日消息,近期中微半導體自主研製的5納米等離子體刻蝕機經台積電驗證,性能優良,將用於全球首條5納米製程生產線。

5納米相當於頭髮絲直徑的二萬分之一,是集成電路製程工藝最小線寬。

台積電宣布2019年將進行5納米製程試產、預計2020年量產。

刻蝕機是晶片製造的關鍵設備之一,曾一度是已開發國家的出口管制產品。

中微半導體聯合創始人倪圖強表示,中微與泛林、應用材料、東京電子、日立4家美日企業,組成了國際第一梯隊,為7納米晶片生產線供應刻蝕機,如今通過台積電驗證的5納米刻蝕機,預計能獲得比7納米更大的市場份額。

中微半導體是2004年由尹志堯博士與杜志游博士、倪圖強博士、麥仕義博士等40多位半導體設備專家創辦,主要深耕集成刻蝕機領域,研製出中國大陸第一台電介質刻蝕機。

目前,中微半導體的介質刻蝕設備、矽通孔刻蝕設備、MOCVD設備等均已成功進入國內外重要客戶供應體系。

截至2017年底,已有620多個中微半導體生產的刻蝕反應台運行在海內外39條先進生產線上。

根據國際半導體產業協會數據,2018年第三季度中國大陸半導體設備銷售額首次超越韓國,預計明年將成為全球最大半導體設備市場,包括中微半導體、北方華創在內的國產設備廠商有望提高設備滲透率。


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