Primo nanova - 中微半导体

The Primo nanova® tool is AMEC's advanced 300mm etch product based on Inductively Coupled Plasma (ICP) technology. It is a cluster tool which can be ... 关于中微 产品技术 投资者关系 新闻活动 招贤纳士 产品支持 关于中微 公司简介 愿景，使命，工作指导原则 领导团队 公司大事记 荣誉奖项 企业社会责任 商业道德准则 可持续发展 产品技术 刻蚀设备 MOCVD设备 环保设备 投资者关系 公司治理 新闻活动 新闻发布 近期活动 精彩瞬间 招贤纳士 董事长寄语 企业招聘 员工生活 产品支持 现场支持和零部件管理 质量保障 环境、健康和安全 EN / 中文 x 网站导览 关于中微 公司简介 愿景，使命，工作指导原则 领导团队 公司大事记 企业社会责任 新闻活动 新闻发布 近期活动 媒体剪影 产品技术 刻蚀设备 CCPEtchSystem PrimoD-RIE PrimoAD-RIE PrimoSSCAD-RIE PrimoHD-RIE PrimoiDEA ICPEtchSystem Primonanova TSVEtchSystem PrimoTSV MOCVD设备 PrismoD-BLUE PrismoA7 PrismoHiT3 环保设备 VOC净化设备 招贤纳士 董事长寄语 企业招聘 员工生活 投资者关系 公司治理 产品支持 现场支持和零部件管理 质量保障 环境、健康和安全 产品技术 主页 > 产品技术 > 产品详情 Primonanova® InnovativeetchsolutionforlogicandDRAMdevicesat1xandbeyond ThePrimonanova®toolisAMEC’sadvanced300mmetchproductbasedonInductivelyCoupledPlasma(ICP)technology.Itisaclustertoolwhichcanbeconfiguredwithuptosixchambersandtwooptionalon-boardintegratedstripchambers.Thechamberissymmetricalindesignwithhighflowconductance.TheICPcoilsemployAMEC’sproprietarylowcapacitivecoupling3Dcoildesignwhichenablesmoreindependentiondensityandionenergycontrol.Thechamberinterioriscoatedwithhigh-densityplasma-resistantmaterialforgreaterprocessrepeatabilityandproductivity.ForwaferCDuniformitycontrol,thereisahighdynamicrangemulti-zonedirecttemperature-controlledESC(electrostaticchuck).Theproductisintendedfor1xorbeyondetchapplicationsforlogicandmemorydevices. ProductFeatures Trulysymmetricchamberdesign Lowcapacitivecoupling3Dcoildesign Highpumpingspeedwithlargecapacityturbopump(TMP) Precisechamberwalltemperaturecontrol Advancedplasma-resistantinteriorcoating Multi-zonetemperature-controlledESC Activeimpedancetunedfocusringdesign SwitchabledualfrequencyRFbiasing Integrateddualstrippers CompetitiveAdvantages Moreindependentionenergyandiondensitycontrollability Higherpumpingconductanceforwiderprocesswindow Excellentetchuniformity Superiorprofilecontrolforhighaspectratioapplication Highproductivityplatformwithlowcost-of-ownership(CoO) 关于中微 产品技术 投资者关系 新闻活动 招贤纳士 产品支持 ©2019中微半导体设备（上海）股份有限公司沪ICP备05053603号-1沪公网安备31011502002759号