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凭借这些特性和其他独特功能，该设备将为7纳米、5纳米及更先进的半导体器件刻蚀应用提供比其他同类设备更好的工艺加工能力，和更低的生产成本。 中微Primo nanova®刻蚀机已 ...

Primo nanova · TSV Etch System · Primo TSV ... AMEC Singapore. Advanced Micro-Fabrication Equipme...

SHANGHAI, March 12, 2018 /PRNewswire/ -- This week at SEMICON China, Advanced Micro-Fabrication E...

Primo nanova R. P13. P15. VOC净化设备. VOC air purifier for industrial use. 28英寸超大反应腔. MOCVD设备. Prism...

设备还采用了多区细分的高动态范围温控静电吸盘，使加工出的集成电路器件的关键尺寸达到高度均匀性。Primo nanova适用于1X纳米及以下的逻辑和存储器件的刻蚀应用。 产品 ...