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设备还采用了多区细分的高动态范围温控静电吸盘，使加工出的集成电路器件的关键尺寸达到高度均匀性。Primo nanova适用于1X纳米及以下的逻辑和存储器件的刻蚀应用。 产品 ...

中微半导体设备有限公司（AMEC）宣布中微在美国泛林科技提起的第二轮关于在台湾的专利侵权的上诉中再次获得了决定性的胜利。1月20日，台湾智慧财产法院再次驳回泛林 ...

The Primo nanova® tool is AMEC's advanced 300mm etch product based on Inductively Coupled Plasma ...

Primo nanova · TSV Etch System · Primo TSV ... AMEC Singapore. Advanced Micro-Fabrication Equipme...