北方 華 創

2021年6月9日，中微半导体设备（上海）股份有限公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付客户庆祝仪式。

设备还采用了多区细分的高动态范围温控静电吸盘，使加工出的集成电路器件的关键尺寸达到高度均匀性。Primo nanova适用于1X纳米及以下的逻辑和存储器件的刻蚀应用。 产品 ...

凭借这些特性和其他独特功能，该设备将为7纳米、5纳米及更先进的半导体器件刻蚀应用提供比其他同类设备更好的工艺加工能力，和更低的生产成本。 中微Primo nanova®刻蚀机已 ...

中微半导体设备有限公司（AMEC）宣布中微在美国泛林科技提起的第二轮关于在台湾的专利侵权的上诉中再次获得了决定性的胜利。1月20日，台湾智慧财产法院再次驳回泛林 ...

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