TWI606482B - 用於電漿蝕刻腔室之變壓器耦合電容調諧匹配 ...

論文名稱: 變壓器耦合式電漿源特性量測與等效電路模擬分析. 論文名稱(外文):, The Characterization and Circuit Model of a Transformer ...

利用低壓電漿幫助鍍膜就是利用其不需提高反應氣體的溫度而可在低溫下 ... 所謂感應耦合式電漿(Inductively-Coupled-Plasma, ICP)，簡單而言係利用RF 所產.

這些問題包括有限的TCCT範圍、有限的變壓器耦合電漿(TCP，transformer coupled plasma)電力、高線圈電壓、以及線圈電弧作用。因此，反應器腔室的製程 ...

本發明係有關一種腔室，於其中調變式電漿供應之製程可實施者。 ... 因此，該離子電流(配合電漿密度)得不受離子能量(配合該自給偏壓電路)的影響來進行調整。 ... 依據本實施例，一高頻電壓產生器...

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