remote plasma source原理

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4. 結構示意圖： ... argon plasma source)，是由三個電極(兩個石墨陽極. 和一個鎢絲陰極) ... 或者放射光即螢光( fluorescence, FL) 和磷光 ... 開發、細胞之顯影、遙測(remote sensing) 及生化. 感測器等 ...