「300mm晶圓勻膠顯影設備研發」項目在沈通過驗收
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4月14日，由瀋陽芯源微電子設備有限公司承擔的2012年度國家02科技重大專項「300mm晶圓勻膠顯影設備研發」項目在瀋陽順利通過驗收，標誌著我國前道晶片製程領域用塗膠顯影設備的國產化又邁出了重要的一步，不僅打破了該類設備一直由國外生產廠商長期壟斷、受制於人的局面，也填補了國內該項技術空白，為我國前道晶片製程塗膠顯影設備進入前段市場打開了突破口。
「該項目成果產品的成功應用，將大大降低客戶採購成本和對國外設備的依賴性，價格較國外同類產品低20%到30%，企業獲得的售後技術支持也更加給力。
」瀋陽芯源公司工作人員介紹，他們聯合中科院瀋陽自動化研究所、清華大學深圳研究生院、上海集成電路研發中心、上海微電子裝備有限公司等幾家產學研用合作單位，突破了193nm光刻工藝超薄膠膜均勻塗敷等多項關鍵核心技術，成功研製出具有自主智慧財產權的300mm光刻工藝勻膠顯影設備考核測試機和上線示範應用機。
項目實施期間，共銷售5台勻膠顯影設備。
申請專利124項，其中發明專利申請117項，台灣發明專利申請2項，國際發明專利申請4項，實用新型專利1項，獲得軟體著作權5項，制定企業技術標準1項。
目前，該項目共性技術可成功輻射應用於高端封裝、LED 等技術設備領域，對該類設備產能和穩定性具有極大的提升作用。
瀋陽芯源公司表示，將進一步推動該項目的市場化、產業化，帶動產業降低成本、優化升級，並為推動遼瀋地區集成電路產業規模化、集聚化發展作出貢獻。
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