中國精密機械之王：一台設備賣到4000萬，目前在國內沒有任何對手

隨著AI晶片、5G晶片、汽車電子、物聯網等下游的興起，目前國內正在大力發展半導體產業，而核心設備光刻機被譽為工業皇冠上的明珠，其主要核心供應商為荷蘭半導體設備製造商ASML Holding NV（ASML），它幾乎壟斷了全球高端光刻機市場，EUV光刻機中更是全球獨有，7納米及以後的工藝都要依賴EUV光刻機，而且設備價格高昂，單台設備超過1億美元（約合6.9億元人民幣），而且是有價無貨。

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就連半導體巨頭英特爾在前些年，追加大連IC產線，購買了荷蘭ASML的光刻機，為保障這批設備的運輸，動用了6架包機，貨運公司調用了6台減震車和數控溫床，操作時都要小心翼翼像，可見晶片巨頭對於它的重視程度。

一顆晶片看似尋常，實際上裡面集成著數不清的電路，在小小的晶片上要讓電路紋絲不亂，需要極度精準的光刻機。

截止目前全球僅有少數幾家設備廠商掌握光刻機技術，如ASML、佳能、尼康、SUSS、ABM、Inc等，其中ASML在全球晶圓廠光刻機設備的市場份額高達8成，國產化勢在必行。

有數據顯示：從設備需求端測算，2018-2020年國產晶圓製造設備市場空間增速分別為54%，78%和97%，2018-2020年累計市場空間達250億元。

國內有一家企業將打破這一格局，這家企業就是華卓精科，它是清華大學機械工程系長聘教授、博士生導師，機械電子工程研究所所長朱煜教授所創立，並於四年前年聯合清華大學成功推出了中國第一台滿足65納米光刻機需求的雙工件台樣機，現在正在向28納米製程的浸沒式光刻機雙工件台，發起了衝刺。

「我就是一個陀螺，一旦停下來就會倒下。

不停，就可以一直高速旋轉。

」朱煜這麼形容自己的狀態。

這家公司成立以來，一直專注於集成電路裝備技術研發及產業化，是集成電路製造前端光刻機的重要部件生產商，旗下雙工件台的研發與產業化，目前處於全球領先地位。

是除半導體設備製造商荷蘭ASML以外全球第二家可以生產光刻機雙工件台的企業。

他們的核心戰略產品是光刻機雙工件台；其他整機設備包括雷射退火、矽片堆疊、掃描干涉光刻機；零部件有運動平台、EFEM、靜電卡盤、隔振器等。

前兩年，華卓精科與上海微電子裝備(集團)有限公司簽訂了3台乾式雙工件台產品供貨合同，總價值1.2億元，平均下來每台售價超過4000萬元。

目前，光刻機雙工件台作主要為光刻機的兩大核心子系統，使運動誤差保持在2納米之內，也就是人頭髮絲直徑的四萬分之一，精細難度非常之大。

再打個形象的比喻，兩架時速1000公里/小時的飛機在任意時刻的飛行位置偏差不超過一個微米。

如此極端、精細的性能指標，使光刻機雙工件台成為當之無愧的「精密機械之王」，其製造工藝難度可想而知，目前他們這家企業在國內沒有任何對手。

首先，裝備與工藝的結合問題，一直是制約國產裝備進入大生產線的主要瓶頸。

國際半導體裝備廠商，特別是關鍵的、與工藝密切相關的前道設備廠商在工藝研發上投入巨大。

有分析分析認為，目前要真正做到國產高端裝備全面進入市場還有很長的路要走。