中國精密機械之王:一台設備賣到4000萬
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隨著AI晶片、5G晶片、汽車電子、物聯網等下游的興起,目前國內正在大力發展半導體產業,而核心設備光刻機被譽為工業皇冠上的明珠,其主要核心供應商為荷蘭半導體設備製造商ASML Holding NV(ASML),它幾乎壟斷了全球高端光刻機市場。
就連半導體巨頭英特爾在前些年,追加大連IC產線,購買了荷蘭ASML的光刻機,為保障這批設備的運輸,動用了6架包機,貨運公司調用了6台減震車和數控溫床,操作時都要小心翼翼像,可見晶片巨頭對於它的重視程度。
一顆晶片看似尋常,實際上裡面集成著數不清的電路,在小小的晶片上要讓電路紋絲不亂,需要極度精準的光刻機。
有數據顯示:從設備需求端測算,2018-2020年國產晶圓製造設備市場空間增速分別為54%,78%和97%,2018-2020年累計市場空間達250億元。
國內有一家企業將打破這一格局,這家企業就是華卓精科,它是清華大學機械工程系長聘教授、博士生導師,機械電子工程研究所所長朱煜教授所創立,並於四年前年聯合清華大學成功推出了中國第一台滿足65納米光刻機需求的雙工件台樣機。
「我就是一個陀螺,一旦停下來就會倒下。
不停,就可以一直高速旋轉。
」朱煜這麼形容自己的狀態。
這家公司成立以來,一直專注於集成電路裝備技術研發及產業化,是集成電路製造前端光刻機的重要部件生產商,旗下雙工件台的研發與產業化,目前處於全球領先地位。
是除半導體設備製造商荷蘭ASML以外全球第二家可以生產光刻機雙工件台的企業。
他們的核心戰略產品是光刻機雙工件台;其他整機設備包括雷射退火、矽片堆疊、掃描干涉光刻機;零部件有運動平台、EFEM、靜電卡盤、隔振器等。
目前,光刻機雙工件台作主要為光刻機的兩大核心子系統,使運動誤差保持在2納米之內,也就是人頭髮絲直徑的四萬分之一,精細難度非常之大。
再打個形象的比喻,兩架時速1000公里/小時的飛機在任意時刻的飛行位置偏差不超過一個微米。
首先,裝備與工藝的結合問題,一直是制約國產裝備進入大生產線的主要瓶頸。
國際半導體裝備廠商,特別是關鍵的、與工藝密切相關的前道設備廠商在工藝研發上投入巨大。
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