任你有錢也難買到 ASML研發第二代EUV光刻機
文章推薦指數: 80 %
【PConline資訊】半導體製造過程中最複雜也是最難的步驟就是光刻,光刻機也因此成為最重要的半導體製造設備。
目前最先進的光刻機是荷蘭ASML公司生產的EUV光刻機,每台售價數億歐元,且需要很長的訂貨周期。
2019年,台積電、三星都會開始量產7nm EUV工藝產品,現有的EUV光刻機也差不多成熟了,雖然產量比起傳統的DUV光刻機還有所不如,7nm及明年的5nm節點上EUV光刻機都會是重點。
EUV光刻機未來還能怎麼發展?2016年ASML公司宣布斥資20億美元收購德國蔡司公司25%的股份,並投資數億美元合作研發新一代透鏡,而ASML這麼大手筆投資光學鏡頭公司就是為了研發新一代EUV光刻機。
日前韓媒報導稱,ASML公司正積極投資研發下一代EUV光刻機,與現有的光刻機相比,二代EUV光刻機最大的變化就是High NA(高數值孔徑)透鏡,通過提升透鏡規格使得新一代光刻機的微縮解析度、套准精度兩大光刻機核心指標提升70%,達到業界對幾何式晶片微縮的要求。
在這個問題上,ASML去年10月份就宣布與IMEC比利時微電子中心合作研發新一代EUV光刻機,目標是將NA從0.33提升到0.5以上,而從光刻機的解析度公式——光刻機解析度=k1*λ/NA中可以看出,NA數字越大,光刻機解析度越高,所以提高NA數值孔徑是下一代EUV光刻機的關鍵,畢竟現在EUV極紫外光已經提升過一次了。
此前ASML公布的新一代EUV光刻機的量產時間是2024年,不過有報導稱下一代EUV光刻機的量產時間將被推遲到2025年。
ASML、IMEC聯合研發第二代EUV光刻機:3nm工藝救星
隨著三星宣布7nm EUV工藝的量產,2018年EUV光刻工藝終於商業化了,這是EUV工藝研發三十年來的一個里程碑。不過EUV工藝要想大規模量產還有很多技術挑戰,目前的光源功率以及晶圓產能輸出還...
光刻機領域王者ASML研發新代機型,2025年1納米工藝可期
集微網消息(文/kittykwoon),在2019年,台積電和三星都準備量產7納米的EUV工藝了,並且明年也會是5納米工藝的一個重要節點。要知道,在半導體製造的工藝中,最重要而且最複雜的就是光刻...
隨著三星宣布7nm EUV工藝的量產,2018年EUV光刻工藝終於商業化
隨著三星宣布7nm EUV工藝的量產,2018年EUV光刻工藝終於商業化了,這是EUV工藝研發三十年來的一個里程碑。不過EUV工藝要想大規模量產還有很多技術挑戰,目前的光源功率以及晶圓產能輸出還...
超能課堂(145):單價1.2億美元的光刻機,全球只有一家公司生產 ……
在中國與美國的貿易衝突中,半導體領域是其中的一個重點,它是《中國製造2025》路線圖中第一個要解決的高科技領域,也是中國製造業目前的薄弱之處,在半導體設計、製造到封裝三個環節中,半導體製造是國...
半導體業的明珠——光刻機
在中國與美國的貿易衝突中,半導體領域是其中的一個重點,它是《中國製造2025》路線圖中第一個要解決的高科技領域,也是中國製造業目前的薄弱之處,在半導體設計、製造到封裝三個環節中,半導體製造是國...
ASML 10億歐元現金收購蔡司半導體24.9%股份
全球晶片光刻技術領導廠商阿斯麥(ASML) 和德國卡爾蔡司 (ZEISS) 旗下的蔡司半導體有限公 司 (Carl Zeiss SMT) 11月3日共同宣布,由 ASML以10億歐元現金收購 C...
7nm大戰在即 買不到EUV光刻機的大陸廠商怎麼辦?
基於三星10nm製程工藝的驍龍835早已隨著三星S8、小米6等一眾手機面世,而基於台積電10nm製程工藝的聯發科Helio X30也和魅族Pro 7系列手機一起亮相了。除此之外麒麟970及A11...
ASML最新一代EUV設備2025年量產
來源:內容綜合自technews等媒體 當前半導體製程微縮到10納米節點以下,包括開始採用的7納米製程,以及未來5納米、3納米甚至2納米製程,EUV極紫外光光刻技術已成為不可或缺的設備。藉由EU...
每台售價超過1億歐元的EUV光刻機,ASML賣了18台
每每提到半導體行業發展,免不了要說下中國最近兩年發展集成電路的決心之強、投資之大,國內公司對人才也求賢若渴,不惜高薪挖人,但在關鍵技術上,我們落後歐美公司還是挺多的,特別是在半導體製造裝備上,...
國產5nm等離子刻蝕機通過台積電驗證,用於全球首個5nm工藝
前段時間國內研發成功紫外超分辨SP光刻機的消息刷屏了,使用365nm波長就能實現單次曝光最高線寬分辨力達到22nm,它打破了傳統光學光刻分辨力受限於光源波長及鏡頭數值孔徑的傳統路線格局,而且這...
蘋果A13晶片依舊台積電代工 首次採用極紫外光刻技術
2月11日,據phonearena和多家媒體報導,蘋果的下一代晶片A13將繼續由台積電獨家代工,並首次使用極紫外光刻技術,傳聞三星也將在自家的處理器上使用該技術,不過這得等到三星的下一代處理器才...
光刻機與刻蝕機達世界先進水平 為何還說中國晶片業依舊前路艱辛
2018年底,中國集成電路行業有兩條好消息:一則是中微半導體設備(上海)有限公司自主研製的5納米等離子體刻蝕機經台積電驗證,性能優良,將用於全球首條5納米製程生產線。另一則是中科院國家重大科研裝...
ASML EUV光刻機準備賣給我們了 打破瓦森納協定封鎖還需大家努力
最近看到報導,說是ASML最先進的EUV光刻系統準備賣給中國了,老wu萬分激動。作為一枚IT攻城獅,老wu深知光刻機對半導體產業的重要性。咋們國內能夠設計IC的公司很多,比如海思半導體ARM C...
我國的半導體製造,已逐步形成產業鏈,ASML或要大甩賣?
我們都知道,半導體製造是全球產業鏈的中端部分,但其設備工藝的精密和複雜程度,卻一點也不亞於半導體集成電路設計的複雜程度。全世界目前主要的半導體製造設備的供應商都在國外,其中最核心的光刻機ASML...