2019年，我國有望迎來首台 EUV光刻機

眾所周知，智能晶片是電子產品所必不可少的核心，晶片要想成功地製作出晶片來，有必要用到光刻機設備。

對晶片製作商來說，光刻機就是核心的生產設備。

全球僅有極少數的光刻機設備廠商可以研製出高端光刻機，而荷蘭的 ASML則具有全球晶圓廠光刻機設備高達8成的商場份額，在乾式曝光機、滋潤式光刻機， EUV （極紫外線光刻機）的商場簡直處於獨霸位置，台積電、三星、英特爾等世界半導體巨子都是其客戶。

近來， ASML我國區總裁金泳璇在承受媒體（ DIGITIMES ）採訪時正式弄清， ASML對大陸晶圓廠與世界客戶天公地道，只需客戶下單， EUV要進口到我國徹底沒有任何問題。

在交期方面，一切客戶也都徹底一致，從下單到正式交貨，均為21個月。

他還泄漏，現在已有大陸晶圓廠巨子與 ASML打開7納米工藝製程的 EUV訂單洽談，2019年大陸首台 EUV可望落地。

下附問答全文：

問：針對國內商場、客戶，各方現在傳出許多聲響，傳聞國內晶圓廠都預訂不到 EUV光刻機「有錢難買 EUV 」？

答：首要，我有必要弄清這絕非現實。

我國本地的晶圓廠與一切世界客戶，於 ASML而言都是天公地道的，只需是承認訂單， EUV要進口到我國徹底沒有任何問題

由於 EUV零組件多達5萬多個部件，從客戶下單到正式交貨，交期約21個月，這個情況，對每個客戶都是徹底一致的。

現實上，大陸客戶已進入7納米工藝製程技能研製階段，而且與 ASML打開 EUV的商談。

假如終究訂單承認，最快預期2019年 EUV會初次移入我國晶圓廠，咱們對在我國客戶裝入我國第一台 EUV光刻機，抱持達觀的等待。

一起以為一旦一家我國客戶選用，其他客戶也會快速跟進。

問： EUV似乎是繼續推動摩爾定律、連續未來納米工藝往下延伸的要害，未來進一步規劃與 ASML對摩爾定律的觀點？

答：毫無疑問摩爾定律會繼續下去但每一製程技能節點之間的時刻會延伸，技能與本錢門檻變得更高

滋潤式顯影技能走到三重曝光( triple-patterning )階段，本錢已然超越 EUV ，出產交期更長、技能更為雜亂，從量產的性價比視點， EUV在7納米以下技能節點已歸於最適計劃。

現在 EUV光源現已可達250 watt ，到達每小時量產125片12吋晶圓，下一階段5納米技能節點以下 High-NA EUV現已在布局研製。

問：現在我國商場事務布局與出售情況如何？2017年全年生長起伏與2018年的增加率預估？

答：全球半導體職業地圖位移，不只本地晶圓廠，包含世界晶圓廠也在添加我國出資， ASML預期，我國光刻機商場規模具30億歐元潛力。

整體而言，現在 ASML在我國商場的裝機量累積已達約500台，2018年可望續增超越50台的裝機量。

不只一線大客戶，還包括許多中、小型晶圓廠合計多達40多家客戶。

從出售額軌道來看，我國商場出售額在2013-2015年保持相等，2016年微幅生長至6億歐元，2017年上半年我國商場出售水平已達4億歐元，因而本年將較去年將有顯著增加。

由於我國晶圓廠2018-2019年繼續投入本錢擴大產能， ASML 2018年出售很可能創下我國區出售新高的紀錄，而2019年也會繼續呈現更顯著的跳躍式增加。

我國大陸的土地上從來就沒有過EUV光刻機，天然沒有相關的技能服務、售後人員，確切的說，我國大陸土地上的Fab的 ArF-Immersion 1970Di光刻機呈現疑難雜症問題時，都還要從荷蘭ASML總部請工程師過來troubleshooting，更甭說EUV了。

SK海力士在無錫的Fab 2016年光刻機出毛病時，我國大陸無人可以進行修補保護，還得從荷蘭請人。

荷蘭ASML工程師的人工海外工時本錢高倒不是最撓人的事，最撓人的是晶片出產是分秒必爭，多罷工一天，贏利丟失都是以億核算的。

三星和台積電一向爭奪瓦森納協議系統答應其在我國大陸的子公司Fab的設備收購自主權。

不過呢，現在，三星、Intel、台積電最需求關懷的不是瓦森納協議系統的冗雜手續和禁令，而是ASML的產能缺乏，全球半導體三巨子（intel，三星，台積電）作為ASML的股東兼研製投入戰略協作者，三家巨子享有ASML的設備優先供貨權，可現在ASML產能太緊張了，連這三個店主的訂單需求都不能滿意。

三巨子得在爭奪訂單中相互進行卡位戰了。

7月份ASML在陳述中表明積壓了多達21台EUV光刻機訂單，每台EUV光刻機的訂單本錢高達1.5億美元（10億人民幣），本年前3季度只交給了7台EUV光刻機，從第三季度開端ASML的產能有所擴產，但估計全年也只能交給12台EUV光刻機。

即使瓦森納系統對半導體三巨子在瓦森納系統以外國家區域的子公司Fab的設備收購權鬆綁，現在三星、台積電、intel也底子沒有才能在瓦森納系統以外的經濟體的Fab中鋪設EUV產線，由於ASML的EUV產能太緊張了，連韓國、台灣、美國本鄉自己的Fab產線晉級需求都不行。

光韓國水原市平和澤市的16個估計進入個位數納米製程的DRAM晶片廠、NAND晶片廠、LSI晶片廠就需求至少 75台EUV，即使ASML2018年產能進步到抱負情況的24台，3年內連滿意韓國疆域內Fab都不行，加上台積電、intel的本鄉Fab，哪還有產能輸送到半導體三巨子在瓦森納系統以外國家的子公司Fab啊？

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