香港《明報》5月22日報導稱，光刻機（又稱曝光機）是生產大規模集成電路的核心設備，其作用是掃描曝光晶片晶圓，刻蝕集成電路。

製造和維護需要高度的光學和電子工業基礎，世界上只有少數廠家掌握。

因此光刻機的價格昂貴，通常在3000萬至5億美元不等。

目前，雖然尼康、佳能等對手都在勉力競爭，但是自飛利浦獨立的阿斯麥公司掌握了90%以上的高端光刻機市場份額。

精度愈高的光刻機，能生產出納米尺寸愈小、功能更強大的晶片。

世界最新最先進的兩代高端光刻機領域，即浸入式（Immersion）和極紫外線式（EUV）光刻機，全部由阿斯麥掌握核心技術。

報導稱，小於5納米的晶片晶圓，目前只能用EUV光刻機生產。

三星電子和台積電目前正競爭生產7納米工藝技術晶片，這兩家都訂購了阿斯麥公司的EUV光刻機。

目前，蘋果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器晶片，採用的是台積電10納米工藝技術，而今年即將推出的新款iPhone將使用7納米工藝技術。

由此可知，擁有光刻機對晶片工藝的實現有著決定性的影響。

▲荷蘭阿斯麥公司廠區（法新社）

不斷補足晶片量產短板

目前，在晶片技術的研發上中國已經有了飛速進展，但在製造量產上還是短板。

這兩台光刻機的引進將大大提高中國在晶片製造工藝上的水平。

據悉，19日運抵的光刻機只是長江存儲的首台光刻機，陸續還會有多台運抵。

報導稱，該設備在相關的海關、商檢及邊防口岸的相關手續辦理完成後，即可運至長江存儲的工廠，可用於14-20納米工藝。

這也從側面透露了長江存儲3D NAND快閃記憶體晶片的工藝製程。

根據長江存儲官網的介紹，2016年，紫光集團與國家集成電路產業投資基金、湖北科投等合資成立了長江存儲，註冊資本額為人民幣386億元。

當年，長江存儲啟動了位於武漢的國家存儲器基地的建設。

2017年9月，項目一期的一號生產及動力廠房提前封頂，2018年4月11日，首批價值400萬美元的晶片生產機正式進場安裝。

這標誌著國家存儲器基地從廠房建設階段進入量產準備階段，中國首批擁有完全自主智慧財產權的32層三維NAND快閃記憶體晶片將於年內量產。

▲4月27日，長江存儲公司內展示的國家存儲器基地建設現場。

（新華社）

目前，長江存儲的32層堆疊3D NAND快閃記憶體已經開始試產，不少產業鏈企業都拿到了樣片測試，預計今年第四季度量產。

另外據日本經濟新聞今年2月22日報導，蘋果正在與長江存儲進行談判，以購買其生產的NAND快閃記憶體晶片。

據分析蘋果首先將僅在面向中國國內的產品中採用。

多名知情人士透露了上述消息。

蘋果討論採用用於保存電子設備數據的NAND型快閃記憶體。

蘋果對半導體的品質要求很高，不少觀點認為實際採用要到2020年之後。

如果能夠和蘋果這樣的巨頭簽訂大單，對於長江存儲來說，將是一個巨大的好消息。

對中國而言，這個交易也將有助於減少對外國晶片供應的依賴，因而願意大舉投資。

另據紫光集團全球執行副總裁暨長江存儲執行董事長高啟全披露：長江存儲的3D NAND Flash已經獲得第一筆訂單，總計10776顆晶片，將用於8GB USD存儲卡產品。

他在接受採訪時強調：「這僅是剛剛開始」。

而對於中國內地規模最大、技術最先進的晶片製造企業，成立於2000年的中芯國際購買光刻機的舉動也引發關注。

據日經亞洲評論報導，據消息人士透露，中芯國際是在美國4月份對中興通訊制裁後下達的訂單。

報導稱，儘管中芯國際在這一市場仍落後於市場領先者兩至三代技術，但是購買到目前世界最先進的EUV光刻機，彰顯了其努力追趕的決心。

據了解在2017年3月，中芯國際宣布將進軍7納米工藝技術的研發。

而EUV光刻機則是現今唯一能夠生產7納米以下的設備，因此，其也被稱為「突破摩爾定律的救星」。

▲中芯國際集成電路製造（北京）有限公司的工作人員在車間內忙碌。

（新華社）

光刻機到底對中國禁不禁售？

物以稀為貴，作為世界上唯一能夠製造EUV光刻機的廠商，並且產量極低，阿斯麥全部產能早在生產之前就被預訂一空。

根據《日經亞洲評論》提供的數據，今年，台積電已經向阿斯麥訂購接近10台EUV光刻機，三星約為6台，英特爾為3台。

而阿斯麥在4月中旬舉行的財報會議上公開稱，今年計劃有20台EUV光刻機交付，但並沒有說明訂單詳情。

由於《瓦森納規定》的存在，阿斯麥公司接連對中國企業接單，引發一些質疑。

《瓦森納協定》又稱瓦森納安排機制，全稱為《關於常規武器和兩用物品及技術出口控制的瓦森納協定》，目前共有包括美國、日本、英國、俄羅斯等42個成員。

儘管「瓦森納安排」規定成員國自行決定是否發放敏感產品和技術的出口許可證，並在自願基礎上向「瓦森納安排」其他成員通報有關信息。

但「安排」實際上完全受美國控制。

而中國、朝鮮、伊朗、利比亞等國均在被限制國家名單之中。

當「瓦森納安排」某一國家擬向中國出口某項高科技技術時，美國甚至直接出面干涉，如捷克擬向中國出口「無源雷達設備」時，美便向捷克施加壓力，迫使捷克停止這項交易。

▲《瓦森納協定》

此前曾有一種說法，認為最高端的光刻機技術受到《瓦森納協定》影響，被禁止向中國大陸出售。

然而，阿斯麥公司發言人則對《日經亞洲評論》表示，該企業對包括中國客戶在內的全球客戶都一視同仁。

而且，向中國出售EUV光刻機並沒有違反《瓦森納協定》。

事實上，從中芯國際的官網可以了解到，中芯國際早在2014年10月27日，已經與阿麥斯公司簽訂過一份光刻設備批量購買協議。

這份批量購買訂單價值近4.5億歐元。

阿斯麥總裁兼CEO彼得·溫尼克（Peter Wennink）在當時就表示：「中國對我們來說，是很重要的市場。

通過這個協議，我們希望能在中國客戶中增加市場份額，占穩一席之地。

」

▲阿斯麥公司生產的光刻機（阿斯麥官網）

2017年10月，阿斯麥中國區總裁金泳璇在接受台灣《電子時報》的採訪時也表示，阿斯麥對大陸晶片廠與國際客戶一視同仁，只要客戶下單，EUV要進口到中國完全沒有任何問題。

在交期方面，所有客戶也都完全一致，從下單到正式交貨，均為21個月。

金泳璇當時就曾透露，目前已有大陸晶片廠巨頭與阿斯麥展開7納米工藝製程的EUV訂單洽談，2019年大陸首台EUV可望落地。

而這對中國晶片廠來說無疑是一個好消息。

台灣「中央社」稱，從2019年半導體晶片將進入7納米時代開始（現在處於10納米時代），EUV光刻機可以被稱為戰略性設備，沒有它就會使晶片製造寸步難行。

晶片國產化進程提速

關於購買光刻機的消息還有更多。

就在5月21日，上海華力集成電路製造有限公司建設和營運的12英寸集成電路生產線項目實現首台工藝設備——光刻機搬入，此次搬入的首台工藝設備為阿斯麥公司的NXT 1980Di光刻機，是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。

據了解，華力12英寸先進生產線建設項目總投資387億元人民幣，被列為國家《「十三五」集成電路產業重大生產力布局規劃》。

該項目主要從事邏輯晶片生產，重點服務國內設計企業先進晶片的製造需求，並滿足部分事關國家信息安全的重點晶片製造。

根據規劃，該項目將建成月產能4萬片的12英寸集成電路晶片生產線，工藝覆蓋28-14納米技術節點。

項目計劃於2022年底達到產能目標。

除了資金和技術人才的投入外，為推進《國家集成電路產業推進綱要》落地，我國將針對集成電路先進工藝和智能傳感器創新能力不足等問題，出台一系列政策「組合拳」，加速多個重點關鍵產品和技術的攻關，以此促進我國集成電路產業的快速健康發展，並縮小我國集成電路產業和世界先進水平的差距。

據國家製造強國建設戰略諮詢委員會制定的產業發展目標，到2020年我國集成電路產業與國際先進水平的差距將逐步縮小，全行業銷售收入年均增速超過20%。

到2030年，集成電路產業鏈主要環節達到國際先進水平，一批企業進入國際第一梯隊，產業實現跨越式發展。

我國「國產替代」的研發能力和生產進度都在不斷提速中。

原創：平悅來源：參考消息