光刻機售價近10億，外國專家說給中國圖紙都做不出來，如今打臉

文：唐俟

人類科技的最高水平可以從航空工程與光刻機發展中看出，這兩項技術堪稱工業皇冠上的璀璨明珠。

目前，我國的航空發動機已經取得了長足的進步，成為了世界上第三個進入太空的國家，空間站也有了長足的進步，而被稱為世界上最困難、最複雜、最昂貴的高科技設備，新時代「兩彈一星」的光刻機我們發展的怎麼樣呢？如今，智慧型手機非常普遍。

智慧型手機最核心的部件就是晶片，而晶片的製造要使用光刻機，所以其重要性不言而喻。

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眾所周知，華為自己的麒麟晶片已經交給台積電製造，而台積電生產晶片也必須購買光刻機。

目前，世界上只有台積電和三星能夠實現晶片代工，而台積電擁有更大的市場份額和更多的訂單。

那麼，哪些製造商正在生產光刻機呢?目前，世界上能生產光刻機的廠家屈指可數:荷蘭的ASML，日本的尼康和佳能，而日本和中國只能著眼低端光刻機，荷蘭的ASML占全球市場份額的80%以上，幾乎壟斷了全球高精度光刻市場。

雖然日本的光刻機售價不高，但是質量卻比ASML差很遠。

由於長期得不到訂單，尼康和佳能基本上放棄了開發第六代EUV光刻機。

ASML目前在全球市場占據主導地位，中國也只能生產低端光刻機而且與ASML相比差距太大，國內高端光學技術基本上依賴進口，曾經德國工程師說中國想研發光刻機完全不可能，把全部圖紙都給中國都造不出來。

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面對如此困難的形勢，我們沒有氣餒。

我國認真梳理了光刻機的關鍵核心技術，決定開展國家科技合作，投入巨資和高素質的科研人員來克服這一科研難題。

第一個難點是光刻機的曝光光學系統，它由幾十個大的平底透鏡串聯而成。

光學元件的精度控制在幾納米以內。

ASML鏡頭組由德國蔡司光學儀器公司獨家生產。

該技術由生產遙感衛星鏡頭的長春光機械研究所與國防科技大學光學精密工程創新團隊聯合攻關，取得多項突破。

一台光刻機的成本在3000萬到5億美元之間，而一台高端光刻機的成本超過1億美元。

目前，ASML銷售Twinscan NXE:3400B。

這台光刻機的價格是1.2億美元，約合8億元人民幣。

中國在2018年才購得光刻機，製作難度非常大，ASML一年只生產幾十台，想買只能提前預定。

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為什麼荷蘭ASML公司能壟斷全球光刻市場，而美國和日本卻不能呢?

ASML成立於1984年，是飛利浦獨立的半導體設備製造商，擁有12000多名員工，其中大多數是研發人員，ASML在光刻方面最為先進，生產高端光刻機的成本非常高，為了長期合作，三星、英特爾、台積電向ASML投入了巨額資金用於研發，才能製造出高端光刻機。

同時，ASML的成功離不開一系列的收購。

ASML是一個不起眼的小公司，當它剛從飛利浦出來。

2000年，ASML收購了美國光刻巨頭SVGL，一舉超過了佳能。

2004年，ASML與台積電共同開發了滲透式光刻機，一舉超越尼康，成為行業第一。

2016年，該公司收購了台灣半導體製造商漢威科，同年又收購了德國微透鏡巨頭，稱霸光刻機市場。

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光刻膠也是晶片製造中不可缺少的材料。

今年1月，台積電因使用不合格光刻膠而報廢數萬片晶圓，影響了高通、華為、蘋果等客戶的晶片製造，台積電自身虧損超過5億美元。

目前，對於我們來說，光刻膠嚴重依賴進口，國內的生產速度不到5%。

核心技術基本上由日本和美國企業壟斷，可見科技發展刻不容緩。

中國在半導體領域一直處於非常被動的地位。

由於種種原因，ASML最新的光刻機將不會銷往中國，可能是因為美國的阻攔吧。

這意味著我們只能用過時的設備，導致行業發展緩慢。

但是我們也一直在嘗試研發新技術，但打破ASML的壟斷僅僅是第一步。

我們不僅需要龐大的研發資金，更需要各領域的頂尖人才。

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可見技術不是短期投入就能解決的，從人才建設到技術積累，都需要時間。

我們需要更多地意識到我們的差距，我們需要作出更多的努力來全面趕上世界的發展，我們還需要全面的技術規劃，科技革新讓我們能屹立在世界強國之林，不再受美國的壓制。

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