台積電今年要買18台EUV光刻機:第二代7nm最快3月量產

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目前用於蘋果A12/A12X、華為麒麟980、AMD Radeon VII的7nm工藝均由台積電代工,但只是第一代DUV(深紫外)製程。

由於三星去年就小規模投產了7nm EUV,同時ASML(荷蘭阿斯麥)將EUV光刻機的年出貨量從18台提升到今年的預計30台,顯然促使台積電不得不加快腳步。

來自產業鏈的最新消息稱,台積電將包攬ASML這批EUV光刻機中的18台,加上先前的幾台,可以在今年3月份啟動7nm EUV的量產,推動7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%。

不僅如此,台積電還會在今年第二季度啟動5nm工藝的風險試產,值得注意的是,5nm的整個代際都將基於EUV工藝部署。

當然,此前台積電聯合CEO魏哲家在投資者會議上給出的時間表示,2019年上半年晚些時候流片5nm,2020年上半年量產。

按照早先的說法,蘋果今秋的A13晶片還會獨家交給台積電代工。

另外,ASML現款EUV光刻機Twinscan NXE: 3400B(今年會有新型號3400C)報價約1.2億美元(約合8億人民幣),18台接近150億元。


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