Glass wafer - 單晶碳化矽晶圓 - 政府研究資訊系統GRB

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在中介層(Interposer)薄化和平坦化已是關鍵製程, 除了矽晶圓外,非矽基晶圓,如玻璃晶圓(Glass Wafer)、單晶氧化鋁的藍寳石晶圓(Sapphire Wafer)和單晶碳化矽晶 ...



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