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PLASMA BT-1 基板電漿蝕刻機. 型號 BT-1. 產品描述. BT-1是完善的工業級電漿蝕刻機，能夠進行電漿清洗、電漿蝕刻，反應離子蝕刻(RIE)等。 詳細介紹; 檔案下載.

蝕刻前請自行去除Si wafer 上的native oxide。 回設備總覽. Page 21. 矽等向蝕刻系統（XeF2 Si Isotropic Etching ...

一般將蝕刻分為濕式蝕刻和乾式蝕刻，而乾式蝕刻（Dry Etching）又稱為電漿蝕刻（Plasma Etching）且屬於非等向性蝕刻，所以是目前最常使用的蝕刻方式。電漿 ...

首頁 · 產品資訊; LED高密度電漿蝕刻機. LED高密度電漿蝕刻機. LED高密度電漿蝕刻機PSS Etcher. EP380-T · 第一頁 · 1 · 最後一頁. 自動勻膠/顯影系統. ...

反應式離子蝕刻機RIE（Reactive Ion Etching）介紹【蝕刻原理】 在半導體 ... 電漿蝕刻（Plasma Etching）且屬於非等向性蝕刻，所以是目前最常 ...