電 漿 蝕刻機

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... fL. X L π. = 2. 其中f 為交流偏壓信號之頻率。

本研究所繞製完成的電感線圈形狀及尺寸如前 ...蝕刻| Applied Materials電漿蝕刻是將電磁能量[通常為射頻(RF)] 運用在含有化學反應成分(如氟或氯) 的氣體中進行。

電漿會釋放帶正電的離子並撞擊晶圓以移除(蝕刻) 材料，並和活性自由基 ...圖片全部顯示使用感應式耦合電漿反應式離子蝕刻系統蝕刻氮化矽與 ... - 博碩士論文網在本篇論文中，由電漿輔助化學汽相沉積系統成長的SixNy與用濺鍍系統成長的TiN 經由感應式耦合電漿反應性離子蝕刻系統進行乾蝕刻，試圖找出使SixNy對TiN有 ...反應式離子蝕刻機— 國立成功大學 - Research NCKUNo.1, University Road, Tainan City 701, Taiwan (R.O.C.) 701 ... 一般將蝕刻分為濕式蝕刻和乾式蝕刻，而乾式蝕刻（Dry Etching）又稱為電漿蝕刻（Plasma ...