電漿蝕刻機 - 聚昌科技
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產品資訊
LED高密度電漿蝕刻機
LED高密度電漿蝕刻機PSSEtcher
產品功能
利用感應式射頻電源與通入反應氣體產生的電漿，對材料，例如:三氧化二鋁、光阻等進行乾式蝕刻。
可用於整批式2”,4”,6”晶圓乾蝕刻製程。
主要應用:
● 晶圓尺寸:2”x26片,4”x8片,6”x3片
● 適用材料:藍寶石晶圓(襯底)、光阻層、氮化鎵、一般遮罩層(Mask)等
● 應用工藝:LEDPSS&a
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