氧電漿在PDMS表面改質應用之研究| NCHU Institution Repository
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純氧電漿的兩倍,且灰化速率亦上升兩倍,因此添加氮氣增加氧原子密度可提昇 ... 於本年度計畫中,理論基礎的部分主要可分為電漿基本原理及電漿診斷、幾.
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關鍵字: O2 plasma;氧電漿;surface modification;PDMS;表面改質;聚雙甲基矽氧烷. 出版社: 機械工程學系所. 引用: [1] Tennico, Y.H., K...
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