圓腔式氧電漿機(Oxygen Plasma) – 生醫工程與奈米醫學 ...

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Home生醫工程設備圓腔式氧電漿機(OxygenPlasma) 圓腔式氧電漿機(OxygenPlasma) 服務項目:清洗基板,表面改質 廠牌:HarrickPlasma 型號:PDC-001 分析原理: 電漿作用包含了紫外線、中性粒子、活化粒子、電子及離子的反應。

這些具能量的粒子能引發許多特殊的化學與物理的反應,進行清潔及改變材料表面以達到特殊的功能及效果。

例如在電漿蝕刻技術中,正離子經由電漿鞘層(PlasmaShe



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