圓腔式氧電漿機(Oxygen Plasma) – 生醫工程與奈米醫學 ...
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圓腔式氧電漿機(OxygenPlasma)
服務項目:清洗基板,表面改質
廠牌:HarrickPlasma
型號:PDC-001
分析原理:
電漿作用包含了紫外線、中性粒子、活化粒子、電子及離子的反應。
這些具能量的粒子能引發許多特殊的化學與物理的反應,進行清潔及改變材料表面以達到特殊的功能及效果。
例如在電漿蝕刻技術中,正離子經由電漿鞘層(PlasmaShe
延伸文章資訊
- 1第五章電漿基礎原理
電漿蝕刻. • CF. 4. 氣體在電漿中分解,產生氟自由基以. 進行氧蝕刻製程 e. −*. + CF. 4. → CF. 3. + F + e. −. 4F + SiO. 2(s). → S...
- 2電漿源原理與應用之介紹
電漿科技已廣泛應用於科學研究及工業製程,成為現代科技的重要指標。本文將介紹 ... 蝕刻技術中,正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath)加速 ... 在氧氣. 環境工作下,電極材料的選擇...
- 3行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告
原料,並且利用氧電漿(oxygen plasma). 處理方式進行 ... 發現COC 材料以氧電漿改質對於附著. 力的改善最 ... 氧電漿處理所伴. 隨的蝕刻效應影響試片表面形貌之情.
- 4乾蝕刻技術 - 微奈米光機電系統實驗室
C. R. Yang, NTNU MT. -2-. 濕式蝕刻法. 乾式蝕刻法. 溼式與乾式蝕刻. 電漿. 蝕刻. 遮罩層 ... 利用氧電漿對PDMS表面進行改質,使其表面更具. 親水性. ○ ...
- 5圓腔式氧電漿機(Oxygen Plasma) – 生醫工程與奈米醫學 ...
例如在電漿蝕刻技術中,正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath) 加速後轟擊矽晶圓,使其表面原子的鍵結破壞進而能迅速與活化粒子進行化學反應達到蝕刻效果。