行政院國家科學委員會專題研究計畫期中進度報告 - 國立成功 ...
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純氧電漿的兩倍，且灰化速率亦上升兩倍，因此添加氮氣增加氧原子密度可提昇 ... 於本年度計畫中，理論基礎的部分主要可分為電漿基本原理及電漿診斷、幾. %PDF-1.4 1 0 obj << /Nums [ 0 2 0 R ] >> endobj 2 0 obj << /S /D >> endobj 3 0 obj << /Count 66 /Kids [ 9 0 R 352 0 R ] /Type /Pages >> endobj 4 0 obj << /Lengt
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