氧電漿蝕刻

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以下方別就三年的研究重點， ... M. W. Shin, R. T. Trew, and G. L. Bilbro, IEEE ELectreon Devie Lett. 15, 292 (1994). 13. ... City, Taiwan, Republic of China. 2 Department of Physics, ...[PDF] 乾蝕刻技術 - NTNU MNOEMS Lab. 國立台灣師範大學機電科技學系微 ...National Taiwan Normal University. 台灣師範大學機電科技學系 ... -2-. 溼式蝕刻法. 乾式蝕刻法. 溼式與乾式蝕刻. 電漿. 蝕刻. 遮罩層. 結構層 ... 利用氧電漿去除光阻.