台積電5 奈米製程關鍵合作夥伴現身！中微「5 奈米刻蝕機 ...

目前，中微半導體已於全球設置582 台刻蝕反應台，預期今年再增長至770 台。

明年隨著台積電進入5nm 製程，預期已通過驗證的5nm 刻蝕機能進一步擴大市場 ... Share 【為什麼我們要挑選這篇文章】台積電在突破7奈米製程後，宣布2019年將試產5奈米製程。

半導體中微近日通過台積電驗證，將建立全球首條5奈米生產線，這將為中微帶來多少技術利基和市場超前啊。

（責任編輯：陳伯安） 繼台積電宣布於明年進行5nm製程試產，並計畫2020年量產，半導體設備商中微也在近期宣布，其自主研發的5nm等離子體刻蝕機通過台積電驗證，未來將應用於全球首條5nm製程生產線。

中微半導體副總裁倪圖強表示，明年台積電將率先進入5nm製程生產，預計已通過驗證的5nm刻蝕機將獲得比7nm生產線更大的市場份額。

5nm刻蝕機成全球關鍵技術，中微預期2年內達成20億台幣銷售額 中微半導體從28nm製程時開始和台積電合作，雙方合作關係一路延續到10nm及後續7nm製程，中微同時也是唯一參與台積電7nm製程的中國刻蝕設備商，其5nm刻蝕機更是突破關鍵技術，躋身全球刻蝕機前段班。

中微2004年初創時，全球最先進的晶片生產線是90nm製程，當時他們便已開始研發40nm刻蝕機，藉由超前布局研發，結合本土和海外引進的國際化團隊，為刻蝕機研發系統工程奠定厚實基礎。

目前，中微半導體已於全球設置582台刻蝕反應台，預期今年再增長至770台。

明年隨著台積電進入5nm製程，預期已通過驗證的5nm刻蝕機能進一步擴大市場份額。

中微執行長尹志堯表示，未來10年將持續開發新產品，藉由自主創新，加速擴大市佔率，達成2020年20億元，以及2050年50億元的產品銷售額。

（本文經合作夥伴鉅亨網授權轉載，並同意TechOrange編寫導讀與修訂標題，原文標題為〈中微5nm刻蝕機通過台積電驗證明年製程試產〉。

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