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中微第100台MOCVD Prismo A7®反应腔付运里程碑 ... 由于中微等离子体刻蚀机的成功研发和量产，美国商务部取消了等离子体刻蚀机对中国的出口控制 ...

为了使生产效率最大化，Primo AD-RIE系统同样可以灵活地装置多达三个双反应台反应腔（即六个反应台）。Primo AD-RIE具备能够满足最新一代芯片器件制造需求的先进性能， ...

以下純屬個人推測AMEC在半導體設備上，確實挖了不少其他設備商的人， ... 相較於大廠，在機台能力上還有一段明顯差距，但是有一點很重要，就是便宜。

总部设于中国上海，中微先以新型的介质刻蚀机Primo D-RIE® 为全球领先的半导体制造商提供先进的晶圆制造方案，帮助客户提高生产效率和加工质量，并降低生产成本。几年来， ...

Primo TSV®是中微推出的首款用于高性能硅通孔刻蚀应用的高密度等离子体硅通孔刻蚀设备。每台系统可配置多达三个双反应台的反应腔。每个反应腔可同时加工两片晶圆。中微 ...