AMEC 機 台

https://www.amec-inc.com/ ... 新加坡商中微半導體設備有限公司成立於2004年,主要業務為生產及銷售先進半導體設備機台,並於2007年成立台灣分公司，負責在台灣的業務...

目前，中微半導體已於全球設置582 台刻蝕反應台，預期今年再增長至770 台。明年隨著台積電進入5nm 製程，預期已通過驗證的5nm 刻蝕機能進一步擴大市場 ...

Primo TSV®是中微推出的首款用于高性能硅通孔刻蚀应用的高密度等离子体硅通孔刻蚀设备。每台系统可配置多达三个双反应台的反应腔。每个反应腔可同时加工两片晶圆。中微 ...

中微第100台MOCVD Prismo A7®反应腔付运里程碑 ... 由于中微等离子体刻蚀机的成功研发和量产，美国商务部取消了等离子体刻蚀机对中国的出口控制 ...

为了使生产效率最大化，Primo AD-RIE系统同样可以灵活地装置多达三个双反应台反应腔（即六个反应台）。Primo AD-RIE具备能够满足最新一代芯片器件制造需求的先进性能， ...