單價同F35的它終於圓滿!Intel 7nm感動哭
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半導體進入7nm節點,最核心的技術之一就是EUV(極紫外)光刻,然而,設備僅僅來自荷蘭ASML(阿斯麥)一家。
今年,ASML最多可以生產12台EUV光刻機(NXE:3400B),單台價格超過1億歐元,媲美一架美軍F35戰機。
可是,ASML預計,3季度的營收將繼續上漲25%。
原來,3400B積壓的訂單數量已經超過27台,Intel、台積電和三星前不久剛剛加買了8台,不過,此前未發出/生產的貨品已經多數來自Intel,可見巨頭的既看重又著急。
好消息是,在7月中旬的半導體設備展上,ASML宣布,公司已經達成了最重要且長期難以突破的里程碑:250瓦的EUV光源。
光源功率(source power)──也就是傳送到掃描機以實現晶圓曝光的EUV光子(photon)數量之量測值──直接等同於生產力,晶片製造商一直以來都堅持250瓦的光源功率是達成每小時125片晶圓(WPH)生產量的必要條件,即production-ready。
早在2007年,AMD就預言,2012到2013年將是EUV技術量產的開端,但這些年正是因為光源功率不達標,進度十分緩慢,2012年的實際指標僅僅是25W,良率低的可憐。
雖然3400B大部分被Intel買走,但巨頭卻對何時導入量產三緘其口。
最新消息顯示,GF和台積電決定先引入DUV(深紫外光刻)作為7nm第一代,第二代再上EUV。
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