ASML明年起將向中國交付首台最先進的EUV光刻機?單台1.2億美金!

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先前,中芯國際作為中國大陸地區最大的晶圓代工廠商,自身的製程工藝一直落後於英特爾、台積電、三星電子和格羅方德;而這,在很長一段時間裡還遭一些國人們詬病。

2017年下半年裡,前台積電的「頭號研發戰將」梁孟松正式加入中芯並擔任聯席CEO之後,中芯的製程工藝進展得可謂突飛猛進。

在中芯,除了梁孟松外,還有一位聯席CEO趙海軍;而業界也相當看好這對聯席CEO組合。

「千軍易得,良將難求」,中芯同時有了兩位聯席CEO,意味著兩位優秀帥才的聯盟。

趙海軍作為中芯的原營運長,是第一位在大陸出身的CEO,第一位「職業經理人」CEO,對中芯有著深厚的感情,並且有著識大體的格局和胸懷。

梁孟松作為一名讓業界時時關注的風雲人物,從加入中芯的那一刻起,就直指尖端的技術工藝。

梁孟松在台積電時,台積電曾在130nm工藝上一舉擊敗IBM,當時負責先進模組的梁孟松可謂給台積電立下了一大功;梁孟松2011年加入三星後,三星的製程就從32nm/28nm Planner技術直接跳級到了14nm FinFET技術,並在2014年底開始量產14nm FinFET工藝。

有業內人士曾這樣評價梁孟松:「梁孟松作為國際上知名的產業領袖,加入中芯後的現金薪酬只有稅後20萬美元!真以為中芯國際的公告少寫了一個零!我想這其中有梁博士發展產業,實現自我理想的使命。

梁孟松在中芯日前舉辦的2018年Q1法說會上表示,中芯國際將在2018年下半年開始量產28nm HKC+工藝,2019年上半年開始風險試產14nm FinFET工藝。

雖然中芯的14nm FinFET工藝比起英特爾、台積電、三星和格羅方德仍顯得落後了一些,但在國內絕對算得上是一大了不起的工藝技術突破(中芯是從現有的28nm工藝直接跳級以研發、投產14nm工藝)。

人們可以確信的是,在將來,中芯必定會向著10nm以下的工藝不斷地探索。

而中芯要研發並投產10nm以下的工藝,就必須要引入光刻機巨頭ASML的EUV極紫外光刻技術。

近日,據日媒Nikkei Asian Review報導,全球最大的光刻機設備製造商AMSL已經向媒體證實,中芯向ASML訂購了一台最新型的EUV光刻機,這台光刻機的價值高達1.2億美金。

預計2019年年初,ASML就可向中芯交付這台EUV光刻機。

當然,如果Nikkei Asian Review提供的這一消息的確屬實,那麼國人們其實可以對中芯抱以更樂觀的預期和信心。

伴隨著晶圓製造行業持續地推進位程工藝,傳統的193nm浸沒式光刻機終將無法滿足晶圓製造行業的需求,業界開始尋求更先進的EUV光刻機。

ASML作為全球最大且唯一的EUV光刻機製造商,終於在最近兩年里取得了進展。

三星電子最新的7nm工藝,就引入了ASML的EUV光刻機。

所謂的EUV,是指波長為13.5nm的光。

與當前光刻機所用的193nm光源相比,EUV光源能給矽片刻下更小的溝道,從而實現在晶片上集成更多的電晶體,進而提高晶片的性能,繼續延續摩爾定律。

業內人士估計,整個行業界在研發EUV光刻機的過程中,前前後後至少也已投入了200億美金。

另據國內的科技媒體「芯思想」不久前在平台發表的一篇文章稱,2017年,全球光刻機的出貨量達294台,其中有近70%的光刻機均出自ASML;並且,包括英特爾、台積電、三星電子、格羅方德、SK海力士和台聯電等行業中一線的廠商都是ASML的客戶。

單就EUV光刻機而言,ASML已經開始向客戶批量供貨,日本的尼康還要繼續對EUV光刻機進行技術上的突破,而日本的佳能基本算是放棄了研發EUV光刻機。

2017年,ASML一共出貨了198台光刻機,具體包括11台EUV光刻機、76台ArFi光刻機、14台ArF光刻機、71台KrF光刻機、26台i-line光刻機;ASML每台EUV光刻機的均價在1億歐元以上,2018年Q1季的單價更是接近1.2億歐元!

2017年里,尼康共出貨了27台光刻機。

其中,ArFi光刻機占6台,ArF光刻機占8台,KrF光刻機占2台,i-line光刻機有11台。

同年,佳能則出貨了70台光刻機,其中有超過50台是i-line光刻機,其餘的是KrF光刻機台。

從ASML和台積電共同研發浸液式光刻機並獲得成功之後,台積電自2008年4月起就徹底放棄了日本製造的光刻機,且至今都沒再從日本採購一台光刻機。

韓國的客戶亦從2008年10月開始放棄了日本的光刻機。


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